[发明专利]一种靶材结构及其制作方法

权利要求书

1.一种靶材结构，包括铜背板，铜背板上设有靶材，其特征在于：所述靶材分隔成若干块设在铜背板上，每块靶材与铜背板之间设有绑定金属层，所述绑定金属层由铜铟合金成型，若干块靶材之间形成靶材间隙，所述靶材间隙设有填充物，所述填充物为有机物，所述有机物为聚酰亚胺、四氟乙烯，特氟龙中的一种，所述填充物的高度与靶材高度一致。

2.根据权利要求1所述的一种靶材结构，其特征在于：所述靶材为ITO，IZO，AZO，IGZO靶材中的一种。

3.根据权利要求1所述的一种靶材结构，其特征在于：当装载靶材的物理气相沉积采用直流电源驱动粒子轰击溅射时，靶材间隙的填充物为陶瓷材料。

4.根据权利要求3所述的一种靶材结构，其特征在于：所述陶瓷材料为氮化铝、氮化钛、碳化硅中的一种。

5.如权利要求1-4任意一种靶材结构的制作方法，其特征在于：其包括以下步骤：

S1: 在铜背板上形成若干块绑定金属层；

S2: 将靶材沉积在绑定金属层上；

S3: 在靶材间隙之间填充填充物。