[发明专利]一种超精密机床进给系统伺服动刚度辨识检测试件及方法

权利要求书

1.一种超精密机床进给系统伺服动刚度辨识检测试件，其特征在于，包括基座(1)；

所述基座(1)的表面上设置有多个周期性沟槽阵列结构，多个周期性沟槽阵列结构用于构造不同周期频率结构特征，以实现进给系统的伺服动刚度辨识。

2.根据权利要求1所述的一种超精密机床进给系统伺服动刚度辨识检测试件，，所述基座(1)为圆盘结构；

所述基座(1)的上表面上沿径向方向设置有多层径向圆环结构(2)，多层所述径向圆环结构(2)呈同心圆分布，每层所述径向圆环结构(2)为不连续的周期性沟槽阵列结构，各层所述径向圆环结构(2)用于构造出不同周期频率的结构特征；

所述基座(1)的圆周表面上沿轴向方向设置有多排轴向圆环结构(3)，每排所述轴向圆环结构(3)为不连续的周期性沟槽阵列结构，各排所述轴向圆环结构(3)用于构造出不同周期频率的结构特征；

所述不连续的周期性沟槽阵列结构为在圆环结构上均匀设置多个沟槽结构(4)。

3.根据权利要求2所述的一种超精密机床进给系统伺服动刚度辨识检测试件，其特征在于，所述基座(1)的直径为100-200mm，厚度为20-50mm。

4.根据权利要求2所述的一种超精密机床进给系统伺服动刚度辨识检测试件，其特征在于，所述沟槽结构(4)的宽度为3mm，深度为2mm。

5.根据权利要求2所述的一种超精密机床进给系统伺服动刚度辨识检测试件，其特征在于，所述周期性沟槽阵列结构的每一周期性结构所占圆心角为3°。

6.根据权利要求2所述的一种超精密机床进给系统伺服动刚度辨识检测试件，其特征在于，所述基座(1)的上表面上设置有4层所述径向圆环结构(2)；

4层所述径向圆环结构(2)的周期依次为30、50、70、100。

7.根据权利要求2所述的一种超精密机床进给系统伺服动刚度辨识检测试件，其特征在于，所述基座(1)的圆周表面设置有3排所述轴向圆环结构(3)；

三排所述轴向圆环结构(3)的周期依次为30、70、100。

8.如权利要求1-7任一项所述的一种超精密机床进给系统伺服动刚度辨识检测试件的方法，其特征在于，包括：

加工基座(1)表面的周期性沟槽阵列结构时，切深随着沟槽阵列周期性变化，进而产生周期性切削力，与该基座(1)表面法向方向的切削力将对垂直于该基座(1)表面的超精密机床进给系统产生周期性激励；

检测该进给系统为抵抗该周期性激励干扰形成的微位移；

根据切削力和微位移即可辨识该进给系统与切削力相同频段的伺服动刚度。