[发明专利]一种集成电路行业废硫酸回收利用方法及系统

权利要求书

1.一种集成电路行业废硫酸回收利用方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1、加热：在催化剂的存在下，将待处理的废硫酸加热至25-90℃，加热1-2h，制得稀硫酸；

S2、浓缩：将步骤S1制得的稀硫酸进行浓缩，浓缩温度为110-160℃，浓缩4-8h，制得浓硫酸；

S3、精馏：将步骤S2制得的浓硫酸进行精馏，精馏2-4h，制得高纯硫酸；

基于所述集成电路行业废硫酸回收利用方法的集成电路行业废硫酸回收利用系统，包括废液储罐(1)、加热釜(2)、浓缩釜(3)、精馏塔(4)、稀硫酸储罐(5)、浓硫酸储罐(6)和高纯硫酸储罐(7)；废液储罐(1)与加热釜(2)通过液体管道相连通，加热釜(2)与浓缩釜(3)通过液体管道相连通，浓缩釜(3)与精馏塔(4)通过液体管道相连通，加热釜(2)与稀硫酸储罐(5)通过液体管道相连通，浓缩釜(3)与浓硫酸储罐(6)通过液体管道相连通，精馏塔(4)与高纯硫酸储罐(7)通过液体管道相连通；

还包括外循环罐(8)、复配硫酸储罐(9)和喷淋吸收塔(10)；

外循环罐(8)与浓缩釜(3)通过液体管道相连通，并且浓缩釜(3)的液位高于外循环罐(8)的液位；

复配硫酸储罐(9)与精馏塔(4)通过液体管道相连通；

加热釜(2)与喷淋吸收塔(10)通过气体管道相连通，浓缩釜(3)与喷淋吸收塔(10)通过气体管道相连通，精馏塔(4)与喷淋吸收塔(10)通过气体管道相连通。

2.根据权利要求1所述的一种集成电路行业废硫酸回收利用方法，其特征在于，还包括以下步骤：S4、复配：将步骤S3中残留的硫酸与水进行复配，制得复配硫酸。

3.根据权利要求1所述的一种集成电路行业废硫酸回收利用方法，其特征在于，步骤S1、步骤S2、步骤S3处理过程中产生的酸性气体，通过碱性溶液进行喷淋处理。

4.根据权利要求3所述的一种集成电路行业废硫酸回收利用方法，其特征在于，所用碱性溶液为氢氧化钠。

5.根据权利要求1所述的一种集成电路行业废硫酸回收利用方法，其特征在于，整个反应过程中，采用真空泵抽负压方式运行，压力为0.09Mpa。

6.根据权利要求1所述的一种集成电路行业废硫酸回收利用方法，其特征在于，步骤S1中，催化剂为MnO₂。

7.一种基于如权利要求1-6中任意一项所述的一种集成电路行业废硫酸回收利用方法的集成电路行业废硫酸回收利用系统，其特征在于，包括废液储罐(1)、加热釜(2)、浓缩釜(3)、精馏塔(4)、稀硫酸储罐(5)、浓硫酸储罐(6)和高纯硫酸储罐(7)；废液储罐(1)与加热釜(2)通过液体管道相连通，加热釜(2)与浓缩釜(3)通过液体管道相连通，浓缩釜(3)与精馏塔(4)通过液体管道相连通，加热釜(2)与稀硫酸储罐(5)通过液体管道相连通，浓缩釜(3)与浓硫酸储罐(6)通过液体管道相连通，精馏塔(4)与高纯硫酸储罐(7)通过液体管道相连通；

还包括外循环罐(8)、复配硫酸储罐(9)和喷淋吸收塔(10)；

外循环罐(8)与浓缩釜(3)通过液体管道相连通，并且浓缩釜(3)的液位高于外循环罐(8)的液位；

复配硫酸储罐(9)与精馏塔(4)通过液体管道相连通；

加热釜(2)与喷淋吸收塔(10)通过气体管道相连通，浓缩釜(3)与喷淋吸收塔(10)通过气体管道相连通，精馏塔(4)与喷淋吸收塔(10)通过气体管道相连通。

8.根据权利要求7所述的一种集成电路行业废硫酸回收利用系统，其特征在于，加热釜(2)、浓缩釜(3)、精馏塔(4)和外循环罐(8)均采用石英材料制成。