[发明专利]蚀刻液电解尾气的处理工艺在审
| 申请号： | 202110873907.9 | 申请日： | 2021-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN113546505A | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 李豪;姜伟 | 申请（专利权）人： | 宏俐（汕头）电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/14 | 分类号： | B01D53/14;B01D53/68;B01D53/78 |
| 代理公司： | 北京力量专利代理事务所(特殊普通合伙) 11504 | 代理人： | 郭大为 |
| 地址： | 515000 广东省汕头市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蚀刻 电解 尾气 处理 工艺 | ||
1.一种蚀刻液电解尾气的处理工艺，其特征在于，包括以下步骤：
将收集的尾气通入吸收缸中进行溶解，得到第一溶解液和一级处理气体；
将所述一级处理气体通入阴极室中并与阴极室内的气体混合，得到二级处理气体；
将所述二级处理气体压至第一淋喷塔中进行喷淋，得到第二溶解液和三级处理气体；
将所述三级处理气体压至第二淋喷塔中进行喷淋，得到第二溶解液和预排放尾气；
对所述预排放尾气进行检测，检测达标后进行排放。
2.根据权利要求1所述的蚀刻液电解尾气的处理工艺，其特征在于，所述将收集的尾气通入吸收缸中进行溶解时，包括：
将收集的尾气通入装有吸收液的吸收缸中，溶解20min-30min。
3.根据权利要求2所述的蚀刻液电解尾气的处理工艺，其特征在于，所述吸收液为氯化亚铁溶液或氯化亚铜溶液。
4.根据权利要求2所述的蚀刻液电解尾气的处理工艺，其特征在于，所述将收集的尾气通入装有吸收液的吸收缸中时，包括：
使用射流装置对吸收液进行射流，对收集的尾气进行喷淋。
5.根据权利要求1所述的蚀刻液电解尾气的处理工艺，其特征在于，所述将所述一级处理气体通入阴极室中并与阴极室内的气体混合时，包括：
所述阴极室内的氯化氢气体与所述一级处理气体充分混合10min-20min。
6.根据权利要求1所述的蚀刻液电解尾气的处理工艺，其特征在于，所述将所述二级处理气体压至第一淋喷塔中进行喷淋包括：
使用文丘里装置将所述二级气体压至所述第一淋喷塔中进行喷淋。
7.根据权利要求1所述的蚀刻液电解尾气的处理工艺，其特征在于，所述将所述二级处理气体压至第一淋喷塔中进行喷淋包括：
使用氯化亚铁溶液对所述二级处理气体进行喷淋10min-30min。
8.根据权利要求1所述的蚀刻液电解尾气的处理工艺，其特征在于，所述将所述三级处理气体压至第二淋喷塔中进行喷淋时，包括：
使用碱性溶液对所述三级处理气体进行喷淋10min-30min。
9.根据权利要求8所述的蚀刻液电解尾气的处理工艺，其特征在于，所述碱性溶液为氢氧化钠溶液。
10.根据权利要求1所述的蚀刻液电解尾气的处理工艺，其特征在于，所述对所述预排放尾气进行检测包括：
通过工业废气在线监测设备对所述预排放尾气进行检测。
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