[发明专利]一种组合物、剥离液及其在剥离光刻胶或光刻胶残余物中的应用和剥离方法

权利要求书

1.一种组合物，包含：水溶性非质子极性有机溶剂、有机胺化合物、缓蚀剂、二醇醚化合物、润湿剂；

所述缓蚀剂含有式I所示化合物中的至少一种和式II所示化合物中的至少一种；

R₁、R₂独立地选自有机供电子基团、H中的任一种；R₁与R₂不同时为H；

R₃、R₄独立地选自有机吸电子基团、H中的任一种；R₃与R₄不同时为H；

所述有机供电子基团选自苯基、羟基、氨基、甲氧基或C_1-5烷基；所述有机吸电子基团选自乙酰基、乙酰胺基、氰基、C_1-3羧基、C_1-3羧酸酯基或硝基；

所述组合物还含有还原剂；

所述还原剂选自亚硫酸钠、亚硫酸铵、硫代亚硫酸钠、硫代硫酸铵、碳酰阱、水杨酰肼、苯甲酰肼、甲醛、乙醛、甲酸、草酸、琥珀酸、乳酸、苹果酸、柠檬酸、丙酮酸、抗坏血酸、抗坏血酸酯、异抗坏血酸、异抗坏血酸酯、戊糖、阿拉伯糖、葡萄糖、甘露糖、果糖、半乳糖中至少一种。

2.根据权利要求1所述的组合物，其特征在于，式I所示化合物与式II所示化合物的重量比为1:1～10:1。

3.根据权利要求1所述的组合物，其特征在于，

式I所示的化合物选自4-羟基-1H-苯并三氮唑、5-羟基-1H-苯并三氮唑、5-甲基苯并三氮唑、5-乙基苯并三氮唑、5-丙基苯并三氮唑、5-丁基苯并三氮唑、5,6-二甲基苯并三唑、1-羟基苯并三唑、1-甲基苯并三唑、1-氨基苯并三唑、1-苯基苯并三唑、1-羟甲基的苯并三唑、1-甲氧基-苯并三唑中的至少一种；

式II所示的化合物选自5-羧基苯并三氮唑、1H-1,2,3-苯并三氮唑-5-甲腈、2-(苯并三氮唑-1-基)乙酰胺、1-甲基-1H-1,2,3-苯并三氮唑-5-羧酸乙酯、1-氰基苯并三氮唑、1H-苯并三唑-1-乙腈、1H-苯并三氮唑-7-羧酸、2-(1-苯并三氮唑)乙酸或5-硝基苯并三唑中的至少一种。

4.根据权利要求1所述的组合物，其特征在于，所述有机胺化合物为季铵氢氧化物，所述季铵氢氧化物选自通式为[NR₅R₆R₇R₈]⁺OH中的至少一种，R₅、R₆、R₇、R₈独立地选自C_1-4烷基、C_1-4羟烷基或苄基；

所述水溶性非质子极性有机溶剂选自二甲基亚砜、二甲基砜、二乙基砜、环丁砜、N，N-二甲基甲酰胺、N-甲基甲酰胺、N，N-二甲基乙酰胺、N-甲基乙酰胺、N-甲基吡咯烷酮、N-乙基吡咯烷酮，1-苯基-2-吡咯烷酮、1-辛基-2-吡咯烷酮、N-乙烯-2-吡咯烷酮、N-内酰胺羟乙基-2-吡咯烷酮、1,3-二甲基-2-咪唑啉酮、β-丙内酯、γ-丁内酯、γ-戊内酯、δ-己内酯、γ-辛内酯、碳酸亚乙酯、碳酸亚丙酯、碳酸亚丁酯中的至少一种；

所述二醇醚化合物选自乙二醇甲醚、乙二醇单乙醚、乙二醇单正丙醚、乙二醇单异丙醚、乙二醇单正丁醚、二甘醇甲醚、二甘醇单乙醚、二甘醇单丁醚、三甘醇甲醚、三甘醇单乙醚、三甘醇单丁醚、1-甲氧基-2-丙醇、2-甲氧基-1-丙醇、1-乙氧基-2-丙醇、2-乙氧基-1-丙醇、丙二醇单正丙基醚、二丙二醇单甲醚、二丙二醇单乙醚、二丙二醇单正丙基醚、三丙二醇单乙醚、三丙二醇单甲醚、乙二醇单苄基醚或二乙二醇单苄基醚中至少一种；

所述润湿剂选自炔醇类化合物中的至少一种。

5.根据权利要求4所述的组合物，其特征在于，所述季铵氢氧化物为四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵、四丙基氢氧化铵、四丁基氢氧化铵、二甲基二乙基氢氧化铵、(2-羟乙基)三甲基氢氧化铵(胆碱)、(2-羟乙基)三乙基氢氧化铵、苄基三甲基铵氢氧化物，苄基三乙基铵氢氧化物或苄基三丁基铵氢氧化物。