[发明专利]温度受控的基板支撑组件

权利要求书

1.一种基板支撑组件，包括：

基板支撑件，所述基板支撑件具有上表面和下表面；

设置在所述基板支撑件中的多个主电阻式加热器，所述多个主电阻式加热器布置在多个加热器区域中；

多个像素加热器，所述多个像素加热器与所述多个主电阻式加热器同列并且设置在所述基板支撑件中，其中所述多个像素加热器的数量比所述一个或多个主电阻式加热器的数量大一个数量级，并且所述多个像素加热器中的像素加热器的每个组合在不对所述多个像素加热器中的所有其他像素加热器以及所述主电阻式加热器中的每一个改变开状态的情况下在开状态与关状态之间独立地受控，并且调整所述多个像素加热器中的第一像素加热器的开状态能够在不调整所述多个像素加热器中的第二像素加热器的开状态的情况下进行。

2.如权利要求1所述的基板支撑组件，其特征在于，进一步包括：

冷却板，所述冷却板耦接至所述基板支撑件。

3.如权利要求2所述的基板支撑组件，其特征在于，进一步包括：

像素加热器控制器，配置为调整所述多个像素加热器中每一个像素加热器的温度输出，所述像素加热器控制器耦接至所述冷却板。

4.如权利要求1所述的基板支撑组件，其特征在于，所述多个像素加热器围绕所述基板支撑件的中心沿着共同的半径被同心地布置成几组像素加热器。

5.如权利要求2所述的基板支撑组件，其特征在于，所述多个像素加热器进一步布置成极性栅格。

6.如权利要求1所述的基板支撑组件，其特征在于，进一步包括：

设置在所述多个像素加热器与所述上表面之间的夹紧电极。

7.如权利要求1所述的基板支撑组件，其特征在于，进一步包括：

多个开关，每个开关与所述像素加热器中的相应一个唯一地配对，以使相对于所有所述其他像素加热器的开状态对所述像素加热器中的每一个进行独立控制。

8.一种基板支撑组件，包括：

基板支撑件，所述基板支撑件具有基板支撑表面和下表面；

主电阻式加热器，所述主电阻式加热器耦接至或设置在电介质体中；以及

多个电阻式加热器，所述多个电阻式加热器耦接至或设置在所述基板支撑件中，所述多个电阻式加热器中的每个电阻式加热器相对于所有其他电阻式加热器以及所述主电阻式加热器的开状态在关状态与开状态之间独立地能寻址和受控，且其中电阻式加热器的每个组合配置成接收电压或电流，所述电压或所述电流与施加至所述其他电阻式加热器中的每一个的电压或电流无关。

9.如权利要求8所述的基板支撑组件，其特征在于，进一步包括：

加热器控制器，所述加热器控制器耦接至所述多个电阻式加热器，其中所述加热器控制器包括光学控制器和电功率控制器，所述光学控制器光学耦合至用于所述多个电阻式加热器中的每个电阻式加热器的对应的开关，所述加热器控制器配置成对所述多个电阻式加热器中的每一个提供功率。

10.如权利要求8所述的基板支撑组件，其特征在于，进一步包括：

冷却板，所述冷却板耦接至所述基板支撑件。

11.如权利要求8所述的基板支撑组件，其特征在于，进一步包括：

设置在所述多个电阻式加热器与基板支撑表面之间的夹紧电极。

12.如权利要求8所述的基板支撑组件，其特征在于，所述基板支撑件是静电夹盘，且所述静电夹盘的电介质体是陶瓷。

13.如权利要求8所述的基板支撑组件，其特征在于，所述多个电阻式加热器沿着共同的半径被同心地布置成几组电阻式加热器。

14.如权利要求8所述的基板支撑组件，其特征在于，所述主电阻式加热器形成在电介质体的所述下表面上。