[发明专利]一种差动式力敏感传感器

权利要求书

1.一种差动式力敏感传感器，包括上下叠放布置的承载体(2)和下支撑体(3)，其特征在于：所述的承载体(2)内的中部由上往下依次设置有第一石英芯片(8)和第二石英芯片(9)，该第二石英芯片(9)与第一石英芯片(8)呈垂直布置且上下不接触，所述的下支撑体(3)底部设置有振荡IC封装体(7)，该振荡IC封装体(7)、第一石英芯片(8)、第二石英芯片(9)以及下支撑体(3)上设置的线路组成力敏感单元的振荡电路。

2.根据权利要求1所述的一种差动式力敏感传感器，其特征在于：所述的承载体(2)内部由上往下依次设置有上台阶孔(4)、中间通道(10)和下台阶孔(5)，所述的上台阶孔(4)内安装有第一石英芯片(8)，该上台阶孔(4)上端口贯穿承载体(2)上端面，所述的下台阶孔(5)内安装有第二石英芯片(9)，该下台阶孔(5)下端口贯穿承载体(2)下端面。

3.根据权利要求2所述的一种差动式力敏感传感器，其特征在于：所述的上台阶孔(4)前、后两侧的底部与中间通道(10)形成两个上台阶(12)，两个上台阶(12)对应搭载第一石英芯片(8)，所述的下台阶孔(5)前、后两侧的顶部与中间通道(10)形成两个下台阶(13)，两个下台阶(13)对应搭载第二石英芯片(9)。

4.根据权利要求3所述的一种差动式力敏感传感器，其特征在于：所述的上台阶(12)与第一石英芯片(8)之间以及下台阶(13)与第二石英芯片(9)之间采用刚性胶体固定粘合。

5.根据权利要求2所述的一种差动式力敏感传感器，其特征在于：所述的上台阶孔(4)和下台阶孔(5)均为矩形凹槽。

6.根据权利要求2所述的一种差动式力敏感传感器，其特征在于：所述的上台阶孔(4)上端口通过封盖(1)封住。

7.根据权利要求1所述的一种差动式力敏感传感器，其特征在于：所述的线路设置有提供电源输入、频率信号输出的连接接口。

8.根据权利要求1所述的一种差动式力敏感传感器，其特征在于：所述的下支撑体(3)下表面与振荡IC封装体(7)之间采用贴片焊接。

9.根据权利要求1所述的一种差动式力敏感传感器，其特征在于：所述的承载体(2)呈左右对称布置。

10.根据权利要求1所述的一种差动式力敏感传感器，其特征在于：所述的第一石英芯片(8)与振荡IC封装体(7)之间以及第二石英芯片(9)与振荡IC封装体(7)之间均通过导电胶(6)相连。