[发明专利]包括功率晶体管和DC馈送路径的器件和方法在审
| 申请号: | 202110771780.X | 申请日: | 2021-07-08 |
| 公开(公告)号: | CN113921515A | 公开(公告)日: | 2022-01-11 |
| 发明(设计)人: | T·坎宁;H·布里施 | 申请(专利权)人: | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L27/02 | 分类号: | H01L27/02;H01L23/58 |
| 代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 马明月 |
| 地址: | 德国诺伊*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 包括 功率 晶体管 dc 馈送 路径 器件 方法 | ||
1.一种器件(10),包括:
功率晶体管(11),
输出节点(12),被耦合到所述功率晶体管(11)的负载端子,
DC馈送路径(17;37),被耦合在DC馈送节点(13)与所述输出节点(12)之间,
一个或多个分立电容器(14、15;31、50),被耦合在所述DC馈送路径(17;37)与参考电位之间,其中所述一个或多个分立电容器(14、15;31、50)中最靠近所述输出节点的第一电容器(14;31)是沟槽电容器器件。
2.根据权利要求1所述的器件(10),其中所述第一电容器(14;31)包括选自包含氮化硅或氧化硅的组的电介质材料。
3.根据权利要求1或2所述的器件(10),其中所述第一电容器(14;31)具有至少500pF的总电容值。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的器件(10),其中所述第一电容器具有小于75pH的等效串联电感。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的器件(10),其中所述DC馈送路径(17;37)还包括在所述第一电容器(14;31)与所述输出节点(12)之间的匹配阻抗(16;32),其中所述匹配阻抗(16;32)被配置为谐振掉所述功率晶体管(11)的、在所述功率晶体管(11)的所述负载端子与另一负载端子之间的电容。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的器件(10),其中所述第一电容器(14;31)是将所述DC反馈路径(17;37)耦合到接地的唯一分立电容器。
7.根据权利要求1至5中任一项所述的器件(10),其中所述一个或多个分立电容器(14、15;31、50)包括至少一个第二电容器(15;50)。
8.根据权利要求7所述的器件(10),其中所述至少一个第二电容器(15;50)具有与所述第一电容器(14;31)的电容值相等或比所述第一电容器(14;31)的电容值大的电容值。
9.根据权利要求7或8所述的器件(10),还包括在所述第一电容器(14;31)与所述第二电容器(15;50)之间的阻抗(51)。
10.根据权利要求1至9中任一项所述的器件,其中所述沟槽电容器器件包括多个沟槽电容器元件。
11.根据权利要求10所述的器件,其中相邻的沟槽电容器元件之间的电感小于10pH。
12.一种射频放大器器件,包括根据权利要求1至11中任一项所述的器件。
13.一种方法,包括:
通过控制功率晶体管(11),在输出节点(12)处提供输出信号,
经由DC馈送路径(17;37),向所述输出节点(12)提供DC馈送,
使用一个或多个分立电容器(14、15;31、50)来执行滤波,所述一个或多个分立电容器(14、15;31、50)被耦合在所述DC馈送路径(17;37)与参考电位之间,其中所述一个或多个分立电容器(14、15;31、50)中最靠近所述输出节点的第一电容器(14;31)是沟槽电容器器件。
14.根据权利要求13所述的方法,其中所述一个或多个分立电容器(14、15;31、50)包括至少一个第二电容器(15;50)。
15.根据权利要求13或14所述的方法,其中所述方法使用根据权利要求1至11中任一项所述的器件(10)来执行。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的





