[发明专利]包括功率晶体管和DC馈送路径的器件和方法在审

专利信息
申请号: 202110771780.X 申请日: 2021-07-08
公开(公告)号: CN113921515A 公开(公告)日: 2022-01-11
发明(设计)人: T·坎宁;H·布里施 申请(专利权)人: 英飞凌科技股份有限公司
主分类号: H01L27/02 分类号: H01L27/02;H01L23/58
代理公司: 北京市金杜律师事务所 11256 代理人: 马明月
地址: 德国诺伊*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 包括 功率 晶体管 dc 馈送 路径 器件 方法
【权利要求书】:

1.一种器件(10),包括:

功率晶体管(11),

输出节点(12),被耦合到所述功率晶体管(11)的负载端子,

DC馈送路径(17;37),被耦合在DC馈送节点(13)与所述输出节点(12)之间,

一个或多个分立电容器(14、15;31、50),被耦合在所述DC馈送路径(17;37)与参考电位之间,其中所述一个或多个分立电容器(14、15;31、50)中最靠近所述输出节点的第一电容器(14;31)是沟槽电容器器件。

2.根据权利要求1所述的器件(10),其中所述第一电容器(14;31)包括选自包含氮化硅或氧化硅的组的电介质材料。

3.根据权利要求1或2所述的器件(10),其中所述第一电容器(14;31)具有至少500pF的总电容值。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的器件(10),其中所述第一电容器具有小于75pH的等效串联电感。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的器件(10),其中所述DC馈送路径(17;37)还包括在所述第一电容器(14;31)与所述输出节点(12)之间的匹配阻抗(16;32),其中所述匹配阻抗(16;32)被配置为谐振掉所述功率晶体管(11)的、在所述功率晶体管(11)的所述负载端子与另一负载端子之间的电容。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的器件(10),其中所述第一电容器(14;31)是将所述DC反馈路径(17;37)耦合到接地的唯一分立电容器。

7.根据权利要求1至5中任一项所述的器件(10),其中所述一个或多个分立电容器(14、15;31、50)包括至少一个第二电容器(15;50)。

8.根据权利要求7所述的器件(10),其中所述至少一个第二电容器(15;50)具有与所述第一电容器(14;31)的电容值相等或比所述第一电容器(14;31)的电容值大的电容值。

9.根据权利要求7或8所述的器件(10),还包括在所述第一电容器(14;31)与所述第二电容器(15;50)之间的阻抗(51)。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的器件,其中所述沟槽电容器器件包括多个沟槽电容器元件。

11.根据权利要求10所述的器件,其中相邻的沟槽电容器元件之间的电感小于10pH。

12.一种射频放大器器件,包括根据权利要求1至11中任一项所述的器件。

13.一种方法,包括:

通过控制功率晶体管(11),在输出节点(12)处提供输出信号,

经由DC馈送路径(17;37),向所述输出节点(12)提供DC馈送,

使用一个或多个分立电容器(14、15;31、50)来执行滤波,所述一个或多个分立电容器(14、15;31、50)被耦合在所述DC馈送路径(17;37)与参考电位之间,其中所述一个或多个分立电容器(14、15;31、50)中最靠近所述输出节点的第一电容器(14;31)是沟槽电容器器件。

14.根据权利要求13所述的方法,其中所述一个或多个分立电容器(14、15;31、50)包括至少一个第二电容器(15;50)。

15.根据权利要求13或14所述的方法,其中所述方法使用根据权利要求1至11中任一项所述的器件(10)来执行。

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