[发明专利]一种半导体用十级擦拭布净化清洗工艺

权利要求书

1.一种半导体用十级擦拭布净化清洗装置，包括清洗箱(1)，其特征在于：所述清洗箱(1)一侧设置有两组调节清洗机构，两组所述调节清洗机构之间设置有刷动机构；

所述调节清洗机构包括设置在所述清洗箱(1)一侧的支撑块(2)，所述支撑块(2)顶端连接有调节气缸(3)，所述调节气缸(3)推动端连接有推动杆(4)，所述推动杆(4)顶端连接有推动块(5)，所述推动块(5)一侧连接有调节凹框(6)，所述调节凹框(6)内部设置有底部滚动限位轴杆(7)，所述底部滚动限位轴杆(7)上方设置有顶部滚动限位轴杆(8)，所述顶部滚动限位轴杆(8)一端外部套设有下压轴环块(9)，所述下压轴环块(9)顶端安装有下压气缸(10)；

所述刷动机构包括设置在所述清洗箱(1)另一侧的支撑凹框(11)，所述支撑凹框(11)内部设置有传动丝杆(12)，所述传动丝杆(12)一端连接有旋转杆(13)，所述旋转杆(13)一端安装有伺服电机(14)，所述传动丝杆(12)外部套设有螺纹环(15)，所述螺纹环(15)顶端连接有移动支板(16)，所述移动支板(16)顶端连接有横向支撑板(17)，所述横向支撑板(17)一侧连接有挤压气缸(18)，所述挤压气缸(18)推动端连接有活动杆(19)，所述活动杆(19)底端连接有下压凹框(20)，所述下压凹框(20)底端连接有上刷板(21)，所述上刷板(21)底部设置有下刷板(22)，所述下刷板(22)一侧连接有联动块(23)，所述联动块(23)顶端连接有拉伸杆(24)，所述清洗箱(1)底端连接有下流电动阀管(28)，所述下流电动阀管(28)底端安装有过滤箱(29)，所述过滤箱(29)内部设置有过滤网(30)，所述过滤网(30)底端安装有滤芯(32)，所述过滤箱(29)底端嵌入设置有回流管(33)，所述回流管(33)一端安装有回流泵机(34)，所述回流泵机(34)输出端连接有导流管(35)，所述导流管(35)一端连接有横向喷射管(36)，所述下流电动阀管(28)一侧连接有循环管(37)，所述循环管(37)底端安装有电动控制阀(38)，所述电动控制阀(38)底端安装有接入管(39)，所述清洗箱(1)一侧安装有净化箱(40)，所述净化箱(40)内部设置有第一净化辊轮(41)，所述第一净化辊轮(41)一侧设置有第二净化辊轮(42)，所述拉伸杆(24)顶端设置有拉伸气缸(25)，所述联动块(23)一侧设置有第一滚轮(26)，所述下刷板(22)另一设置有第二滚轮(27)，所述净化箱(40)底端设置有排放阀管(43)，所述排放阀管(43)与所述净化箱(40)相连通，所述伺服电机(14)一侧连接有稳固支杆(31)，所述稳固支杆(31)与所述伺服电机(14)之间固定连接，所述调节凹框(6)与所述底部滚动限位轴杆(7)之间活动连接，所述顶部滚动限位轴杆(8)一端外部与所述下压轴环块(9)之间活动连接，所述旋转杆(13)两端分别与所述传动丝杆(12)和所述伺服电机(14)输出端两两之间固定连接，所述传动丝杆(12)外部与所述螺纹环(15)之间通过螺纹进行连接，所述第一滚轮(26)与所述清洗箱(1)内壁一侧活动连接，所述第二滚轮(27)与所述清洗箱(1)内壁且位于所述下刷板(22)另一侧位置处活动连接，还包括一种利用半导体用十级擦拭布净化清洗装置的净化清洗工艺，具体使用步骤如下：

步骤一、安装布料时，将清洗箱(1)倒入带有清洗剂的混合水，清洗的十级擦拭布穿过第一组调节清洗机构，拉动十级擦拭布进入到第一滚轮(26)底部，再通过第二滚轮(27)进入到上刷板(21)和下刷板(22)之间，再穿过第二组调节清洗机构，并且十级擦拭布位于底部滚动限位轴杆(7)和顶部滚动限位轴杆(8)之间，然后进入到净化箱(40)内穿过第一净化辊轮(41)底部和第二净化辊轮(42)底部；

步骤二、调节时，启动下压气缸(10)带动下压轴环块(9)向下进行移动，下压轴环块(9)带动顶部滚动限位轴杆(8)向下进行移动，这样使底部滚动限位轴杆(7)与顶部滚动限位轴杆(8)对十级擦拭布进行一定挤压，然后启动调节气缸(3)带动推动杆(4)向上进行移动，推动杆(4)带动推动块(5)向上进行移动，推动块(5)带动调节凹框(6)向上进行移动，这样使擦拭清洗布开始绷紧，从而调节好松紧度；

步骤三、清洗时，启动挤压气缸(18)带动活动杆(19)向下进行移动，活动杆(19)带动下压凹框(20)向下进行移动，下压凹框(20)带动上刷板(21)向下进行移动，同时启动拉伸气缸(25)带动拉伸杆(24)向上进行移动，拉伸杆(24)带动联动块(23)向上进行移动，联动块(23)带动下刷板(22)向上进行移动，这样对十级擦拭布进行挤压，利用收卷设备带动十级擦拭布进行缓慢移动，然后启动伺服电机(14)带动旋转杆(13)进行转动，旋转杆(13)带动传动丝杆(12)进行转动，传动丝杆(12)带动螺纹环(15)在螺纹的作用下进行移动，螺纹环(15)带动移动支板(16)使横向支撑板(17)进行移动，通过伺服电机(14)的正反转实现上刷板(21)和下刷板(22)的来回刷动，将刷干净的十级擦拭布通过净化箱(40)内部的干净水源进行净化，从而起到 清洗净化的作用。