[发明专利]一种光学检测装置及方法

说明书

本发明提供一种光学检测装置，包括：承载台，用于承载被检测物；一个或一个以上的扫描相机，所述扫描相机的扫描视野至少部分覆盖所述承载台；运动机构，所述运动机构用于带动所述被检测物在承载平面相对所述扫描相机移动；光源组件，用于周期性地发出第一亮度和第二亮度的照明光，所述第一亮度小于第二亮度；所述扫描相机用于在所述第一亮度的照明光下采集第一图像，在所述第二亮度的照明光下采集第二图像；所述装置还包括与所述扫描相机连接的处理器，所述处理器用于对所述第一图像中的高反射率区域和所述第二图像中的低反射率区域进行特征检测。本发明还相应提供了一种光学检测方法，使用该方法误检率和漏检率较低。

技术领域

本发明涉及工业检测领域，特别涉及一种光学检测装置及方法。

背景技术

在面板AOI(Automated Optical Inspection，自动光学检测)领域，AOI检测设备的主要目的是发现面板在生产过程中存在的各种缺陷(比如颗粒、脏污、划伤、凸起、凹坑、短路、断路等)，所使用的主要手段是通过多个并排排列的扫描CCD探头，经过拼接的方式，完整扫描面板，根据拍摄的图像，利用图像处理算法分析面板上的各类缺陷。

然而，处于同一工艺阶段的面板产品的不同区域的反射率不同，容易造成高反射率区域亮度过曝或低反射率区域亮度不足的局面。这就使得高反射率区域的缺陷也具有较高的亮度，或者低反射率区域的非缺陷部分也只有较低的亮度，导致无法通过亮度大小的比较区分缺陷和非缺陷部分，从而导致误检率和漏检率提高。

发明内容

为解决上述问题，本发明提供一种光学检测装置，包括：

承载台，用于承载被检测物；

一个或一个以上的扫描相机，所述扫描相机的扫描视野至少部分覆盖所述承载台；

运动机构，所述运动机构用于带动所述被检测物在承载平面相对所述扫描相机移动；

光源组件，所述光源组件的照明范围至少部分覆盖所述承载台；

所述光源组件用于周期性地发出第一亮度和第二亮度的照明光，所述第一亮度小于第二亮度；

所述扫描相机用于在所述第一亮度的照明光下采集第一图像，在所述第二亮度的照明光下采集第二图像；

所述装置还包括与所述扫描相机连接的处理器，所述处理器用于对所述第一图像中的高反射率区域和所述第二图像中的低反射率区域进行特征检测。

在其中一个实施例中，所述光源组件包括光源控制器和照明光源，所述光源控制器用于周期性地切换所述照明光源发出第一亮度和第二亮度的照明光。

在其中一个实施例中，所述照明光源包括第一光源和第二光源，所述第一光源用于发出第一亮度的照明光，所述第二光源用于发出第二亮度的照明光，所述光源控制器用于周期性地切换第一光源和第二光源开启。

在其中一个实施例中，所述扫描相机为线阵相机。

在其中一个实施例中，所述线阵相机为TDI线阵相机，所述光源控制器的切换周期为所述TDI线阵相机的行扫描时隙的整数倍。

在其中一个实施例中，所述运动机构用于根据所述TDI线阵相机的行扫描时隙和所述光源控制器的占空比调整速度移动所述被检测物。

在其中一个实施例中，所述处理器还用于获取所述高反射率区域和低反射率区域的灰度值，根据所述灰度值设定所述光源控制器的占空比。

在其中一个实施例中，所述装置还包括一个或一个以上的复检相机支架以及设置在所述复检相机支架上的复检相机；

所述复检相机支架用于在所述承载平面移动所述复检相机。