[发明专利]一种光学检测装置及方法

权利要求书

1.一种光学检测装置，其特征在于，包括：

承载台，用于承载被检测物；

一个或一个以上扫描相机，所述扫描相机的扫描视野至少部分覆盖所述承载台；

运动机构，所述运动机构用于带动所述被检测物在承载平面相对所述扫描相机移动；

光源组件，所述光源组件的照明范围至少部分覆盖所述承载台；

所述光源组件用于周期性地发出第一亮度和第二亮度的照明光，所述第一亮度小于第二亮度；

所述扫描相机用于在所述第一亮度的照明光下采集第一图像，在所述第二亮度的照明光下采集第二图像；

所述装置还包括与所述扫描相机连接的处理器，所述处理器用于对所述第一图像中的高反射率区域和所述第二图像中的低反射率区域进行特征检测。

2.根据权利要求1所述的光学检测装置，其特征在于，所述光源组件包括光源控制器和照明光源，所述光源控制器用于周期性地切换所述照明光源发出第一亮度和第二亮度的照明光。

3.根据权利要求2所述的光学检测装置，其特征在于，所述照明光源包括第一光源和第二光源，所述第一光源用于发出第一亮度的照明光，所述第二光源用于发出第二亮度的照明光，所述光源控制器用于周期性地切换第一光源和第二光源开启。

4.根据权利要求2所述的光学检测装置，其特征在于，所述扫描相机为线阵相机。

5.根据权利要求4所述的光学检测装置，其特征在于，所述线阵相机为TDI线阵相机，所述光源控制器的切换周期为所述TDI线阵相机的行扫描时隙的整数倍。

6.根据权利要求5所述的光学检测装置，其特征在于，所述运动机构用于根据所述TDI线阵相机的行扫描时隙和所述光源控制器的占空比调整速度移动所述被检测物。

7.根据权利要求2所述的光学检测装置，其特征在于，所述处理器还用于获取所述高反射率区域和低反射率区域的灰度值，根据所述灰度值设定所述光源控制器的占空比。

8.根据权利要求1至7任一项所述的光学检测装置，其特征在于，所述光学检测装置还包括一个或一个以上复检相机支架以及设置在所述复检相机支架上的复检相机；

所述复检相机支架用于在所述承载平面移动所述复检相机。

9.根据权利要求8所述的光学检测装置，其特征在于，所述处理器还用于控制所述复检相机支架移动所述复检相机至识别到的所述第一图像中的高反射率区域或所述第二图像中的低反射率区域的特征位置进行复检扫描。

10.一种光学检测方法，基于权利要求1至9任一项所述的光学检测装置的处理器，所述方法包括：

控制被检测物以目标速度在承载平面相对扫描相机移动；

控制光源组件以目标周期发出第一亮度和第二亮度的照明光照射所述被检测物，所述第一亮度小于所述第二亮度；

获取一个或一个以上扫描相机在所述第一亮度下采集的第一图像，以及在所述第二亮度下采集的第二图像；

对所述第一图像中的高反射率区域和所述第二图像中的低反射率区域进行特征检测。

11.根据权利要求10所述的一种光学检测方法，其特征在于，所述控制被检测物以目标速度在承载平面相对扫描相机移动之前还包括：

根据TDI线阵相机的行扫描时隙和光源控制器的占空比设定所述目标速度。

12.根据权利要求10所述的一种光学检测方法，其特征在于，所述对所述第一图像中的高反射率区域和所述第二图像中的低反射率区域进行特征检测之后还包括：

控制复检相机支架移动复检相机至识别到的所述第一图像中的高反射率区域或所述第二图像中的低反射率区域的特征位置进行复检扫描。