[发明专利]固晶机及固晶方法有效

专利信息
申请号: 202110727894.4 申请日: 2021-06-29
公开(公告)号: CN113471107B 公开(公告)日: 2022-04-19
发明(设计)人: 胡新平;梁志宏 申请(专利权)人: 深圳新益昌科技股份有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/68;H01L21/50
代理公司: 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 代理人: 徐汉华
地址: 518000 广东省深圳*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 固晶机 方法
【权利要求书】:

1.一种固晶机,包括:

供料机构(12),用于供给支架;

收料机构(13),用于回收固晶后的所述支架;

轨道机构(20),设于所述供料机构(12)和所述收料机构(13)之间,用于传送支架,所述轨道机构(20)具有点胶位(201)和固晶位(202);

扩膜供晶机构(40),设于所述轨道机构(20)的侧方,用于供给晶片;以及

点胶机构(30),设于所述轨道机构(20)的侧方,用于对所述固晶位(202)处的所述支架进行点胶;

其特征在于,所述固晶机还包括:

校正机构(50),用于旋转校正所述晶片的角度;

焊头机构(70),用于将所述扩膜供晶机构(40)供给的所述晶片移送至所述校正机构(50)进行角度校正,再将校正后的所述晶片移送安装于所述固晶位(202)的所述支架上;以及,

镜头机构(60),用于摄取所述扩膜供晶机构(40)供给的所述晶片的位置图像以使所述焊头机构(70)定位吸取所述扩膜供晶机构(40)供给的所述晶片,用于摄取所述校正机构(50)上的所述晶片的晶片图像以配合所述校正机构(50)校正所述晶片的角度,并用于摄取所述固晶位(202)的所述支架上的晶片安装位图像以使所述焊头机构(70)根据所述晶片安装位图像向所述支架上安装所述晶片;

所述焊头机构(70)包括两套固晶邦头(72)、驱动两套所述固晶邦头(72)分别升降的固晶升降模块(73)、分别驱动两套所述固晶邦头(72)纵向移动的固晶纵移模块(74)、驱动所述固晶纵移模块(74)横向移动的固晶横移模块(75)和支撑所述固晶横移模块(75)的固晶支座(71),所述固晶纵移模块(74)滑动安装于所述固晶支座(71)上,所述固晶升降模块(73)安装于所述固晶纵移模块(74)上,各所述固晶邦头(72)支撑于所述固晶纵移模块(74)上;

所述固晶邦头(72)包括吸嘴组件(721)、支撑座(722)、升降驱动器(723)、邦头座(724)和弹片(725),所述升降驱动器(723)安装于所述邦头座(724)上,所述吸嘴组件(721)用于吸取晶片,所述吸嘴组件(721)安装在所述支撑座(722)上,所述弹片(725)将所述支撑座(722)支撑于所述邦头座(724)上,所述支撑座(722)与所述升降驱动器(723)相连,所述升降驱动器(723)用于驱动所述支撑座(722)升降,所述弹片(725)弹性支撑所述吸嘴组件(721)与所述支撑座(722)。

2.如权利要求1所述的固晶机,其特征在于:所述校正机构(50)包括用于定位所述晶片的校正台(51)和驱动所述校正台(51)转动的旋转电机(52),所述校正台(51)具有用于供所述晶片定位放置的台面(5101),所述台面(5101)呈水平设置的平面状。

3.如权利要求2所述的固晶机,其特征在于:所述校正台(51)中开设有气道(5102),所述校正机构(50)包括用于外接抽气装置的气嘴(54),所述气嘴(54)与所述气道(5102)连通。

4.如权利要求1-3任一项所述的固晶机,其特征在于:所述镜头机构(60)包括用于摄取所述位置图像的取晶镜头(64)、用于摄取所述晶片图像的校正镜头(65)、用于摄取所述晶片安装位图像的固晶镜头(66)和镜头座(63),所述取晶镜头(64)、所述校正镜头(65)及所述固晶镜头(66)安装于所述镜头座(63)上,所述镜头座(63)支撑于所述轨道机构(20)的上方。

5.如权利要求1-3任一项所述的固晶机,其特征在于:所述点胶机构(30)包括设于所述轨道机构(20)侧方的点胶支座(31)和安装于所述点胶支座(31)上的至少两套点胶组件(32)。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳新益昌科技股份有限公司,未经深圳新益昌科技股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202110727894.4/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top