[发明专利]一种低温度敏感性谐振式加速度计结构在审
| 申请号： | 202110698167.X | 申请日： | 2021-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN113405541A | 公开（公告）日： | 2021-09-17 |
| 发明（设计）人： | 高阳;孟琳;刘洋洋;张嘉超;焦良葆;曹雪虹 | 申请（专利权）人： | 南京工程学院 |
| 主分类号： | G01C19/5621 | 分类号： | G01C19/5621;G01P15/097 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 王素琴 |
| 地址： | 211167 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 温度 敏感性 谐振 加速度计 结构 | ||
1.一种低温度敏感性谐振式加速度计结构，包括硅结构层，其特征在于：所述硅结构层包括敏感质量块、四个方向限定机构、两个双端固定音叉谐振器、两个谐振器锚点、四个支撑折叠梁、四个固定框架和两个整体结构锚点，两个所述双端固定音叉谐振器紧邻设置于整体结构中心位置，且关于水平方向中心线对称分布，每个所述双端固定音叉谐振器的一端均通过一个所述方向限定机构与第一类一级杠杆放大机构或第二类一级杠杆放大机构相连，另一端通过一个所述方向限定机构与一个所述谐振器锚点连接，所述敏感质量块通过所述支撑折叠梁与所述固定框架，在每个两个所述固定框架之间设置有整体结构锚点。
2.根据权利要求1所述的一种低温度敏感性谐振式加速度计结构，其特征在于：所述第一类一级杠杆放大机构和第二类一级杠杆放大机构关于水平方向中心线对称布置。
3.根据权利要求2所述的一种低温度敏感性谐振式加速度计结构，其特征在于：所述第一类一级杠杆放大机构的支点梁位于输入梁与输出梁之间。
4.根据权利要求3所述的一种低温度敏感性谐振式加速度计结构，其特征在于：所述第二类一级杠杆放大机构的输出梁位于输入梁与支点梁中间。
5.根据权利要求1所述的一种低温度敏感性谐振式加速度计结构，其特征在于：所述方向限定机构包括连接块、两个折叠梁机构和两个锚点，每个所述锚点均通过一个所述折叠梁机构与所述连接块连接，且两个所述折叠梁机构、两个所述锚点关于所述连接块对称分布。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京工程学院，未经南京工程学院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202110698167.X/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
