[发明专利]一体化控制的大型精密装备隔振系统

说明书

本发明公开了一种一体化控制的大型精密装备隔振系统，涉及大型精密装备隔振技术领域，包括隔振组件及承载平台，隔振组件设置于精密装备下方，承载平台为多个，多个承载平台在精密装备内竖向排布，且各个承载平台均由隔振组件支撑。本发明的一体化控制的大型精密装备隔振系统，在大型精密装备内部设置了多个竖向排布的承载平台，并一体化受控于隔振组件之上，通过一体化的方式实现对不同维度的精密器件的隔振，解决了困扰业界许久的问题，该系统在满足设备多维度隔振效果的基础上，还能够大幅降低投入和运行成本，提高精密装备检测效率。

技术领域

本发明涉及大型精密装备隔振技术领域，尤其涉及一种一体化控制的大型精密装备隔振系统。

背景技术

对于大型精密装备而言，其整体或者其内部若干精密器件都可能需要进行隔振，与之相配套的精密装备隔振系统就成为精密生产、加工、试验等工作的重要环境保障技术。

现有的与大型精密装备配套的隔振系统主要采取以下两种方式：一种为整体式隔振，即隔振系统对精密装备和其内部器件整体进行隔振；另一种为分离式隔振，即精密装备放置于地面基础上，隔振系统只对内部对振动要求组件进行隔振。

应用上述两种隔振方式根据不同装备存在一定局限性，整体式隔振无法满足设备大型化要求，分离式隔振无法满足设备多维度隔振要求，导致大型精密装备隔振系统投入和运行成本极高，甚至不能满足设备精密生产、加工、试验等工作。

发明内容

本发明实施例提供一种一体化控制的大型精密装备隔振系统，以解决应用现有的隔振方式使得精密装备检测过程复杂、繁琐，经济及时间成本较高的问题。

本发明实施例提出了一种一体化控制的大型精密装备隔振系统，包括隔振组件及承载平台；隔振组件设置于精密装备下方；承载平台为多个，多个承载平台在精密装备内竖向排布，且各个承载平台均由隔振组件支撑。

根据本发明实施例的一个方面，隔振组件包括平铺排布的多个隔振支撑装置。

根据本发明实施例的一个方面，隔振组件还包括高刚性平台，高刚性平台由多个隔振支撑装置支撑于精密装备下方，多个隔振支撑装置沿高刚性平台的延伸方向排列成至少一排，每排包括一个或多个隔振支撑装置。

根据本发明实施例的一个方面，承载平台包括第一承载平台及第二承载平台，第二承载平台被配置为在竖直方向上位于第一承载平台上方。

根据本发明实施例的一个方面，第二承载平台的数量为多个，多个第二承载平台在竖直方向上依次层叠设置。

根据本发明实施例的一个方面，第一承载平台的数量为多个，多个第一承载平台在水平方向上平铺设置。

根据本发明实施例的一个方面，第一承载平台通过贯穿精密装备壁的多个第一支撑件与隔振组件连接，第二承载平台通过贯穿精密装备壁的多个第二支撑件与隔振组件连接。

根据本发明实施例的一个方面，第一支撑件及第二支撑件均由精密装备上的通孔贯穿精密装备壁，第一支撑件及第二支撑件与通孔之间均设置有柔性密封件。

根据本发明实施例的一个方面，第一支撑件的第一端与隔振组件连接，第一支撑件的第二端贯穿精密装备的底壁延伸至精密装备内部底部而与第一承载平台连接。

根据本发明实施例的一个方面，多个第一支撑件的第二端沿第一承载平台的延伸方向排列成至少一排，每排的第一支撑件的第二端的数量为一个或多个。

根据本发明实施例的一个方面，第二支撑件的第一端与隔振组件连接，第二支撑件的第二端贯穿精密装备的侧壁延伸至精密装备内部上部而与第二承载平台连接。

根据本发明实施例的一个方面，第二承载平台通过设置于精密装备内的多个第二支撑件与第一承载平台连接。