[发明专利]一种半导体芯片模板转移装置在审
| 申请号: | 202110673674.8 | 申请日: | 2021-06-17 |
| 公开(公告)号: | CN113436993A | 公开(公告)日: | 2021-09-24 |
| 发明(设计)人: | 符建志 | 申请(专利权)人: | 四川熙隆半导体科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司: | 成都诚中致达专利代理有限公司 51280 | 代理人: | 曹宇杰 |
| 地址: | 629200 四川省遂*** | 国省代码: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 半导体 芯片 模板 转移 装置 | ||
1.一种半导体芯片模板转移装置,其特征在于,所述半导体芯片模板顶部设有限位槽(41),底部设有T形板(42),所述转移装置包括方向检测机构(1)、转移夹具(2)、承载机构(3);
所述方向检测机构(1)包括两个L型架(5)、阻挡结构(6)和感应结构(7),两个所述L型架(5)的间距根据半导体芯片模板设置,半导体芯片模板与所述L型架(5)滑动配合,所述阻挡结构(6)位于两个所述L型架(5)一端,所述阻挡结构(6)包括涡轮(61)、蜗杆(62)、第一旋转电机(63)和与所述涡轮(61)同轴转动的挡停板(64),所述蜗杆(62)设于所述第一旋转电机(63)的顶部,通过所述涡轮(61)和所述蜗杆(62)的配合,所述挡停板(64)用于挡停所述半导体芯片模板,所述感应结构(7)包括由第一升降装置(71)控制的横杆(72)及触点(73),所述横杆(72)一端底部设有限位块(74),所述限位块(74)与所述限位槽(41)匹配,另一端顶部设有感应杆(75),所述触点(73)设于其中一个所述L型架(5)顶部,所述感应杆(75)位于所述触点(73)的正上方;
所述转移夹具(2)从下到上依次包括第二旋转电机(21)、第二升降装置(22)及第一伸缩装置(23),所述第一伸缩装置(23)的一端设有夹持结构(24),所述夹持结构(24)包括两个夹板(25)和用于调节所述夹板(25)间距的第二伸缩装置(26),所述夹持结构(24)用于夹持所述T形板(42);
所述承载机构(3)设置方向与所述L型架(5)相互垂直,所述承载机构(3)包括两个平板架(8)和两个传送带(9),所述平板架(8)和所述传送带(9)分别位于所述转移夹具(2)的两侧,所述平板架(8)顶部设有挡板(81),两个所述挡板(81)的间距根据所述半导体芯片模板设置。
2.根据权利要求1所述的半导体芯片模板转移装置,其特征在于,所述第一升降装置(71)设于门形框架(11)内,所述门形框架(11)包括水平杆(12)和两个竖直杆(13),所述竖直杆(13)分别设于两个所述L型架(5)外侧,其中一个所述竖直杆(13)的下段设有竖条形贯穿槽(14),上段设有贯穿孔(15),所述感应杆(75)一端连接所述横杆(72),另一端设于所述竖条形贯穿槽(14)内,且所述感应杆(75)与所述竖条形贯穿槽(14)滑动配合,所述水平杆(12)设于所述贯穿孔(15)内,且所述水平杆(12)与所述贯穿孔(15)滑动配合。
3.根据权利要求2所述的半导体芯片模板转移装置,其特征在于,其中一个所述L型架(5)的外侧设有第三伸缩装置(51)、若干水平滑杆(52),所述水平滑杆(52)用于引导所述L型架(5)水平移动。
4.根据权利要求3所述的半导体芯片模板转移装置,其特征在于,每个所述挡板(81)的外侧设有第四伸缩装置(85),底部设有凸耳(82),每个所述平板架(8)顶部设有滑槽(83),所述凸耳(82)设于所述滑槽(83)内,所述凸耳(82)与所述滑槽(83)滑动配合。
5.根据权利要求1~4任一项所述的半导体芯片模板转移装置,其特征在于,所述涡轮(61)设于其中一个所述L型架(5),所述挡停板(64)一端与所述涡轮(61)同轴转动,另一端设为自由端(641),另一个所述L型架(5)一端设有卡槽(53),所述自由端(641)设置于所述卡槽(53)内。
6.根据权利要求1~4任一项所述的半导体芯片模板转移装置,其特征在于,所述感应杆(75)和所述横杆(72)的垂直距离等于所述限位块(74)的厚度。
7.根据权利要求1~4任一项所述的半导体芯片模板转移装置,其特征在于,所述T形板(42)的竖段设置为不规则形,所述竖段形状与夹板(25)的夹持部相匹配。
8.根据权利要求1~4任一项所述的半导体芯片模板转移装置,其特征在于,所述两个传送带(9)的间距大于所述T形板(42),且小于所述半导体芯片模板。
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