[发明专利]砷化稼单片微波集成电路陶瓷基片制备装置在审

专利信息
申请号: 202110670261.4 申请日: 2021-06-17
公开(公告)号: CN113488407A 公开(公告)日: 2021-10-08
发明(设计)人: 李巧梅 申请(专利权)人: 李巧梅
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/48
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 061000 河北省沧州市新华*** 国省代码: 河北;13
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摘要:
搜索关键词: 砷化稼 单片 微波集成电路 陶瓷 制备 装置
【权利要求书】:

1.一种砷化稼单片微波集成电路陶瓷基片制备装置,包括有底板组件和第一支撑板;底板组件与第一支撑板进行固接;其特征是:还包括有涂胶单元和传送单元;底板组件与涂胶单元进行转动连接;底板组件与传送单元进行固接;涂胶单元与第一支撑板进行固接;涂胶单元在陶瓷基片表面均匀的涂覆导电胶,传送单元将钼材料基片单块的匀速传送至与涂胶单元涂覆有导电胶的陶瓷基片同一位置。

2.如权利要求1所述的一种砷化稼单片微波集成电路陶瓷基片制备装置,其特征是:涂胶单元包括有电机、第一传动轴、转动辊、第一锥齿轮、第二锥齿轮、第二传动轴、第一直齿轮、第二直齿轮、第一伸缩杆、第一固定板、第一电动推杆、第一传动轮、第二传动轮、丝杆、毛刷、光杆、胶筒、电动转盘、第三伸缩杆、第二电动推杆、第二支撑板、第三直齿轮、第二伸缩杆、第三固定板、第三电动推杆、第三传动轮、第四传动轮、第三传动轴、第一凸轮、承重板、第一固定架、第一固定杆、第一滑板、第二固定架、第二凸轮、第三凸轮和第二固定板;电机与第一支撑板进行固接;电机与第一传动轴进行固接;第一传动轴与底板组件进行转动连接;第一传动轴与转动辊进行固接;第一传动轴与第一锥齿轮进行固接;第一锥齿轮与传送单元相连接;第一锥齿轮与第二锥齿轮相啮合;第二锥齿轮与第二传动轴进行固接;第二传动轴与底板组件进行转动连接;第二传动轴与第一直齿轮进行固接;第二传动轴的侧部设置有第二直齿轮;第二直齿轮与第一伸缩杆进行固接;第一伸缩杆与底板组件进行转动连接;第一伸缩杆与第一固定板进行转动连接;第一固定板与第一电动推杆进行固接;第一电动推杆与底板组件进行固接;第一伸缩杆与第一传动轮进行固接;第一传动轮通过皮带与第二传动轮进行转动连接;第二传动轮与丝杆进行固接;丝杆与底板组件进行转动连接;丝杆与毛刷进行旋接;毛刷与光杆进行滑动连接;光杆与底板组件进行固接;毛刷与多组胶筒进行固接;光杆的侧部设置有电动转盘;电动转盘的定子与底板组件进行固接;电动转盘的转子与第三伸缩杆进行固接;第三伸缩杆与第二固定板进行固接;第三伸缩杆通过连接板与第二电动推杆进行转动连接;第二电动推杆与底板组件进行固接;转动辊的侧部设置有第二支撑板;第二支撑板与底板组件进行固接;第一直齿轮的侧部下方设置有第三直齿轮;第三直齿轮与第二伸缩杆进行固接;第二伸缩杆与底板组件进行转动连接;第二伸缩杆与第三固定板进行转动连接;第三固定板与第三电动推杆进行固接;第三电动推杆与底板组件进行固接;第二伸缩杆与第三传动轮进行固接;第三传动轮通过皮带与第四传动轮进行传动连接;第四传动轮与第三传动轴进行固接;第三传动轴与底板组件进行转动连接;第三传动轴与第一凸轮进行固接;第一凸轮与承重板相接触;承重板的侧部下方设置有第一固定架;第一固定架与底板组件进行固接;第一固定架的侧部设置有第一固定杆;第一固定杆与底板组件进行固接;四组第一固定杆均与第一滑板进行滑动连接;第一滑板的侧部上方设置有第二固定架;第二固定架与底板组件进行固接;第三传动轴与第二凸轮进行固接;第二凸轮与第一滑板相接触;第三传动轴与第三凸轮进行固接;第三凸轮与承重板相接触。

3.如权利要求2所述的一种砷化稼单片微波集成电路陶瓷基片制备装置,其特征是:传送单元包括有第三锥齿轮、第四传动轴、蜗杆、蜗轮、第五传动轴、第一连杆、传动杆、第二固定杆、第二连杆、第二滑板、滑块和导流架;第一锥齿轮与第三锥齿轮相啮合;第三锥齿轮与第四传动轴进行固接;第四传动轴与底板组件进行转动连接;第四传动轴与蜗杆进行固接;蜗杆与蜗轮相啮合;蜗轮与第五传动轴进行固接;第五传动轴与底板组件进行转动连接;第五传动轴与第一连杆进行固接;第一连杆与传动杆进行滑动连接;传动杆与第二固定杆进行固接;第二固定杆与底板组件进行转动连接;传动杆与第二连杆进行固接;第二连杆与第二滑板进行滑动连接;第二滑板与滑块进行固接;滑块与导流架进行滑动连接;导流架与底板组件进行固接。

4.按照权利要求1至3任意一项所述的一种砷化稼单片微波集成电路陶瓷基片制备装置,其特征是:还包括有粘合单元,粘合单元包括有收集板、第三固定架、第四固定板、第五固定板、第四固定架、第四电动推杆和挤压板;收集板与底板组件进行固接;收集板的正上方的侧部设置有第三固定架;第三固定架依次与第四固定板和第五固定板进行固接;第三固定架与第四固定架进行固接;第四固定架与第四电动推杆进行固接;第四电动推杆与挤压板进行固接。

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