[发明专利]显示装置及其制备方法有效
| 申请号: | 202110661527.9 | 申请日: | 2021-06-15 |
| 公开(公告)号: | CN113437091B | 公开(公告)日: | 2022-08-05 |
| 发明(设计)人: | 崔巍 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L21/77 |
| 代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 唐秀萍 |
| 地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 显示装置 及其 制备 方法 | ||
1.一种显示装置,其特征在于,所述显示装置包括多个感光电路,每一所述感光电路包括:
第一薄膜晶体管,所述第一薄膜晶体管用于将接收到的外界光信号转化成电信号输出,所述第一薄膜晶体管包括第一氧化物层和第二氧化物层;
第二薄膜晶体管,所述第一薄膜晶体管与所述第二薄膜晶体管电连接,所述第二薄膜晶体管用于传输所述电信号;
当有光照时,所述第二氧化物层接收所述外界光信号并产生光生载流子,当光照停止时,所述第一氧化物层吸收所述光生载流子。
2.根据权利要求1所述的显示装置,其特征在于,所述第一氧化物层和所述第二氧化物层层叠设置。
3.根据权利要求1所述的显示装置,其特征在于,所述第二氧化物层的厚度大于所述第一氧化物层的厚度。
4.根据权利要求1所述的显示装置,其特征在于,所述第一氧化物层包括多个第一子氧化物部,多个第一子氧化物部相互间隔设置在所述第二氧化物层上。
5.根据权利要求1所述的显示装置,其特征在于,所述显示装置还包括:
衬底;
所述第二氧化物层设置在所述衬底朝向光照方向一侧,所述第一氧化物层设置在所述第二氧化物层远离所述衬底的一侧。
6.根据权利要求5所述的显示装置,其特征在于,所述第一氧化物层的形状与所述第二氧化物层的形状相同,且所述第一氧化物层在所述衬底上的投影面积与所述第二氧化物层在所述衬底上的投影面积相同。
7.根据权利要求1所述的显示装置,其特征在于,所述第二薄膜晶体管包括层叠设置的第三氧化物层和第四氧化物层,且所述第三氧化物层的材料与所述第一氧化物层的材料相同,所述第四氧化物层的材料和所述第二氧化物层的材料相同。
8.根据权利要求7所述的显示装置,其特征在于,当所述第二薄膜晶体管处于关闭状态时,所述第二氧化物层接收所述外界光信号并产生光生载流子,当所述第二薄膜晶体管处于开启状态时,所述第二薄膜晶体管将所述光生载流子产生的电信号输出。
9.根据权利要求1所述的显示装置,其特征在于,所述显示装置还包括:
信号处理单元,所述信号处理单元与多个所述感光电路电连接,所述信号处理单元用于处理所述多个感光电路的所述电信号并确定出目标感光电路,并根据所述目标感光电路在所述显示装置的位置输出对应的控制指令。
10.根据权利要求1所述的显示装置,其特征在于,所述显示装置包括依次层叠设置的显示上基板、显示电路层和显示下基板;
所述感光电路设置在所述显示下基板靠近所述显示上基板的一侧,且与所述显示电路层设置在同一层;或
所述感光电路设置在所述显示上基板和所述显示电路层之间;或
所述感光电路设置在所述显示上基板远离所述显示电路层的一侧。
11.一种显示装置的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括:
提供衬底;
在所述衬底上涂抹金属材料形成栅极层;
在所述栅极层上铺设绝缘材料形成绝缘层;
在所述绝缘层上铺设第二氧化物材料形成第二氧化物层和第四氧化物层,在所述第二氧化物层上铺设第一氧化物材料形成第一氧化物层,在所述第四氧化物层上铺设第一氧化物材料形成第三氧化物层;所述第一氧化物层、所述第二氧化物层和所述栅极层形成第一薄膜晶体管,所述第一薄膜晶体管用于将接收到的外界光信号转化成电信号输出,所述第三氧化物层、所述第四氧化物层和所述栅极层形成第二薄膜晶体管,所述第二薄膜晶体管用于传输所述电信号,所述第二薄膜晶体管与所述第一薄膜晶体管电连接;所述第二薄膜晶体管与所述第一薄膜晶体管形成感光电路;
其中,当有光照时,所述第二氧化物层接收所述外界光信号并产生光生载流子,当光照停止时,所述第一氧化物层吸收所述光生载流子。
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