[发明专利]一种基于挠曲电原理的空心截锥体阵列微小位移驱动器

权利要求书

1.一种基于挠曲电原理的空心截锥体阵列微小位移驱动器，其特征在于，包括截锥体(1)、电极(5)和刚性屏蔽罩(2)；所述截锥体(1)设置在刚性屏蔽罩(2)内，且所述截锥体(1)上下端面上均设置有电极(5)；所述刚性屏蔽罩(2)内表面和外表面均涂覆有固体绝缘材料(6)；所述截锥体(1)有n层，n≥1；

其中，当n＞1时，截锥体(1)串联组成截锥体结构，截锥体结构上端面设置有探头(4)的一端；所述探头(4)的另一端延伸出刚性屏蔽罩(2)，截锥体结构下端面依次分别设置有电极(5)和橡胶垫圈(3)，橡胶垫圈(3)粘接在刚性屏蔽罩(2)上；

n＝1时，所述截锥体(1)一个端面上设置有探头(4)，另一个截面上依次分别设置有电极(5)和橡胶垫圈(3)，橡胶垫圈(3)粘接在刚性屏蔽罩(2)上。

2.根据权利要求1所述的基于挠曲电原理的空心截锥体阵列微小位移驱动器，其特征在于，截锥体(1)中心开设有圆通孔，导向杆(9)穿过圆通孔。

3.根据权利要求1所述的基于挠曲电原理的空心截锥体阵列微小位移驱动器，其特征在于，所述截锥体(1)为空心圆锥截面体或者空心四棱锥截锥体。

4.根据权利要求1所述的基于挠曲电原理的空心截锥体阵列微小位移驱动器，其特征在于，所述电极(5)包括长电极和短电极，长电极设置在截锥体(1)平行于刚性屏蔽罩(2)水平面的大端面上，短电极设置在截锥体(1)平行于刚性屏蔽罩(2)水平面的小端面上。

5.根据权利要求4所述的基于挠曲电原理的空心截锥体阵列微小位移驱动器，其特征在于，当n＝1时，长电极和短电极分别通过电线(7)与驱动电源系统(8)连通。

6.根据权利要求4所述的基于挠曲电原理的空心截锥体阵列微小位移驱动器，其特征在于，当n＞1时，长电极之间串联后通过电线(7)、短电极之间串联后通过电线(7)与驱动电源系统(8)连通。

7.根据权利要求1所述的基于挠曲电原理的空心截锥体阵列微小位移驱动器，其特征在于，所述探头(4)为凸台结构，所述凸台结构包括大圆柱和小圆柱，其中，大圆柱设置在截锥体(1)上，小圆柱设置突出于刚性屏蔽罩(2)。

8.根据权利要求1-7任一项所述的基于挠曲电原理的空心截锥体阵列微小位移驱动器，其特征在于，所述截锥体(1)为介电陶瓷。

9.根据权利要求1-7任一项所述的基于挠曲电原理的空心截锥体阵列微小位移驱动器，其特征在于，所述电极(5)中心开设有通孔。

10.根据权利要求3所述的基于挠曲电原理的空心截锥体阵列微小位移驱动器，其特征在于，所述探头(4)与刚性屏蔽罩(2)之间设置有弹性体(10)。