[发明专利]半导体工艺设备的告警方法和半导体工艺设备

说明书

本发明提供一种半导体工艺设备的告警方法，包括：在告警事件发生时，获取对应的告警对象的告警描述语句中预设状态数据的通道全路径；根据通道全路径，获取预设状态数据的名称和值；采用获取的预设状态数据的名称和值替换通道全路径，更新告警描述语句；根据更新后的告警描述语句生成告警信息。在本发明中，控制装置能够在告警事件发生时，更新并抛出包含告警对象对应的预设状态数据的名称和值的告警信息，从而在每次告警事件发生时，用户可以根据告警信息中的预设状态数据的名称和值快速复现出告警发生时刻的机台状况，并快速定位该告警事件发生的原因，提高了半导体工艺设备的故障排查、处理效率。本发明还提供一种半导体工艺设备。

技术领域

本发明涉及半导体工艺设备领域，具体地，涉及一种半导体工艺设备的告警方法和一种半导体工艺设备。

背景技术

在半导体工艺设备领域，控制系统通常在机台出现故障时通过告警信息向用户传达故障内容，该告警信息通常仅仅是笼统简单地解释当前告警的内容，用户仅可通过告警信息了解发生了什么事(例如，哪些装置发生了故障)，而当用户想要更进一步地了解故障的更多细节时，则只能前往故障源头人工检查设备状态并调查故障发生的原因，故障处理效率较低。

发明内容

本发明旨在提供一种半导体工艺设备的告警方法和半导体工艺设备，半导体工艺设备在执行该告警方法时，能够在告警事件发生时，生成并抛出包含预设状态数据的告警信息，提高半导体工艺设备的故障排查、处理效率。

为实现上述目的，作为本发明的一个方面，提供一种半导体工艺设备的告警方法，包括：

在告警事件发生时，获取对应的告警对象的告警描述语句中预设状态数据的通道全路径；

根据所述通道全路径，获取所述预设状态数据的名称和值；

采用获取的所述预设状态数据的名称和值替换所述通道全路径，更新所述告警描述语句；

根据更新后的所述告警描述语句生成告警信息。

可选地，还包括：

基于所述告警对象对应的告警定义代码，生成所述告警描述语句。

可选地，所述告警定义代码包括：基本描述语句、通道全路径获取语句，所述通道全路径获取语句中包括至少一个通道全路径获取命令；

所述生成告警描述语句，包括：

执行所述通道全路径获取语句中的所述通道全路径获取命令，获取所述通道全路径；

采用获取的所述通道全路径替换所述通道全路径获取命令，更新所述通道全路径获取语句，所述基本描述语句和更新后的所述通道全路径获取语句组成所述告警描述语句。

可选地，所述通道全路径获取语句还包括信息类型字符串，所述信息类型字符串位于所述通道全路径获取语句的开头，用于表示所述预设状态数据的类型；

所述通道全路径获取语句包括多个相同类型的所述通道全路径获取命令时，多个相同类型的所述通道全路径获取命令之间通过预设符号分隔开；

所述生成告警描述语句，还包括：

采用预设字符串替换所述预设符号，更新所述通道全路径获取语句。

可选地，所述预设状态数据的类型包括以下至少之一：状态量、配置值、输入值、输出值。

可选地，所述基本描述语句和所述通道全路径获取语句之间、以及不同类型的所述通道全路径获取语句之间均通过第一预设标点符号分隔开；

所述生成告警描述语句，还包括：

执行当前所述通道全路径获取语句后，若未查找到所述第一预设标点符号，则在当前所述通道全路径获取语句后添加第二预设标点符号。