[发明专利]一种光刻胶单体及其聚合物组合物的制备方法

权利要求书

1.一种光刻胶单体及其聚合物组合物的制备方法，其特征在于：具体包括以下步骤：

S1、选取原料组合树脂、聚合单体、散射粒子、光引发剂、乳酸乙酯、丙二醇甲基醚乙酸酯、活性稀释剂和溶剂，按照重量份进行进行称取；

S2、将步骤S1中的组合树脂、聚合单体、乳酸乙酯、丙二醇甲基醚乙酸酯和溶剂均加入小型混合搅拌机中，进行均搅拌，搅拌机转速控制100-120r/min，搅拌3-5min，搅拌完毕后静置4-8min，得混合物；

S3、将步骤S2中制得的混合物以及步骤S1中的散射粒子、光引发剂和活性稀释剂均加入小型混合搅拌机中，进行均匀搅拌，搅拌机转速控制在80-110r/min，搅拌4-7min，搅拌完毕后得基料；

S4、将步骤S3中制得的基料用0.02μm及以下孔径的滤膜过滤，得到最终光刻胶混合物。

2.根据权利要求1所述的一种光刻胶单体及其聚合物组合物的制备方法，其特征在于：其原料按重量份包括：组合树脂35-55份、聚合单体8-15份、散射粒子3-8份、光引发剂6-12份、乳酸乙酯7-18份、丙二醇甲基醚乙酸酯7-11份、活性稀释剂5-8份、溶剂100-120份。

3.根据权利要求1所述的一种光刻胶单体及其聚合物组合物的制备方法，其特征在于：其原料包括以下组分：组合树脂35份、聚合单体8份、散射粒子3份、光引发剂6份、乳酸乙酯8份、丙二醇甲基醚乙酸酯11份、活性稀释剂8份、溶剂120份。

4.根据权利要求1所述的一种光刻胶单体及其聚合物组合物的制备方法，其特征在于：其原料按重量份包括：组合树脂45份、聚合单体11份、散射粒子6份、光引发剂9份、乳酸乙酯12份、丙二醇甲基醚乙酸酯9份、活性稀释剂7份、溶剂110份。

5.根据权利要求1所述的一种光刻胶单体及其聚合物组合物的制备方法，其特征在于：其原料按重量份包括：组合树脂55份、聚合单体15份、散射粒子8份、光引发剂12份、乳酸乙酯7份、丙二醇甲基醚乙酸酯7份、活性稀释剂5份、溶剂100份。

6.根据权利要求1-5中任意一项所述的一种光刻胶单体及其聚合物组合物的制备方法，其特征在于：所述组合树脂由固化树脂、酚醛树脂、醚化三聚氰胺树脂组成。

7.根据权利要求1-5中任意一项所述的一种光刻胶单体及其聚合物组合物的制备方法，其特征在于：所述光引发剂为TPO-L光引发剂。