[发明专利]用于电子束缺陷检测的像素尺寸校准方法和装置及设备

权利要求书

1.一种用于电子束缺陷检测的像素尺寸校准方法，其特征在于，包括：

读取所创建的标记点模板在工作台上的位置；

控制所述工作台移动至以所述标记点模板在所述工作台上的位置为中心所确定的图像匹配点位置处，并获取所述工作台移动至所述图像匹配点位置后的图像作为校准图像；

根据所述标记点模板和所述校准图像，得到所述校准图像的像素偏差数；

基于所述像素偏差数，得到当前用于电子束缺陷检测的像素尺寸。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，以所述标记点模板在所述工作台上的位置为中心确定所述图像匹配点时，通过以所述标记点模板在所述工作台上的位置为中心，沿水平方向偏移第一距离和沿垂直方向偏移第二距离后的位置后分别作为横向方向的图像匹配点和纵向方向的图像匹配点。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，根据所述标记点模板和所述校准图像，得到所述校准图像的像素偏差数，包括：

根据所述标记点模板和横向方向的图像匹配点所对应的所述校准图像，得到横向像素偏差数；

根据所述标记点模板和纵向方向的图形匹配点所对应的所述校准图像，得到纵向像素偏差数。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，基于所述像素偏差数，得到当前用于电子束缺陷检测的像素尺寸时，包括：

基于所述横向像素偏差数和所述第一距离，计算得到横向像素尺寸；

基于所述纵向像素偏差数和所述第二距离，计算得到纵向像素尺寸。

5.根据权利要求1至4任一项所述的方法，其特征在于，根据所述标记点模板和所述校准图像，得到所述校准图像的像素偏差数时，通过图像匹配的方式进行。

6.根据权利要求1至4任一项所述的方法，其特征在于，所述标记点模板通过由标准片中选取标记点，基于所选取的标记点创建得到；

其中，所述标记点为由所述标准片中选取的具有唯一标识性的图案。

7.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述第一距离与所述第二距离相等；

其中，所述横向方向的图像匹配点和所述纵向方向的图像匹配点均包括两个；

两个所述横向方向的图像匹配点分别位于以所述标记点模板在所述工作台上的位置的左右两侧；

两个所述纵向方向的图像匹配点分别位于以所述标记点模板在所述工作台上的位置的上下两侧。

8.一种用于电子束缺陷检测的像素尺寸校准装置，其特征在于，包括：位置读取模块、工作台移动模块、图像获取模块、像素偏差获取模块和像素尺寸确定模块；

所述位置记录模块，被配置为读取所创建的标记点模板在工作台上的位置；

所述工作台移动模块，被配置为控制所述工作台移动至以所述标记点模板在所述工作台上的位置为中心所确定的图像匹配点位置处；

所述图像获取模块，被配置为在所述工作台移动模块将所述工作台以带动至所述图像匹配点位置处后，获取所述工作台移动至所述图像匹配点位置后的图像作为校准图像；

所述像素偏差获取模块，被配置为根据所述标记点模板和所述校准图像，得到所述校准图像的像素偏差数；

所述像素尺寸获取模块，被配置为基于所述像素偏差数，得到当前用于电子束缺陷检测的像素尺寸。

9.一种用于电子束缺陷检测的像素尺寸校准设备，其特征在于，包括：

处理器；

用于存储处理器可执行指令的存储器；

其中，所述处理器被配置为执行所述可执行指令时实现权利要求1至7中任意一项所述的方法。

10.一种非易失性计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序指令，其特征在于，所述计算机程序指令被处理器执行时实现权利要求1至7中任意一项所述的方法。