[发明专利]一种LED灯珠薄膜封装的空间原子层沉积设备

权利要求书

1.一种LED灯珠薄膜封装的空间原子层沉积设备，其特征在于，包括：

沉积功能腔室，其内设置有多层沉积单元，每层沉积单元内分别沿其中心向外设置有若干隔断，若干所述隔断将所述沉积功能腔室分隔成若干功能腔室，每个所述功能腔室的外侧分别设有气体注入口/真空抽气口，每层所述沉积单元上分别设置有气动真空闸门；

旋转轴，设置于所述沉积功能腔室的中心；

旋转电机，设置于所述沉积功能腔室的顶部或底部，用于驱动所述旋转轴旋转；

多个托盘单元，分别设置于多层所述沉积单元中，每个所述托盘单元的中心分别与所述旋转轴相连。

2.如权利要求1所述的LED灯珠薄膜封装的空间原子层沉积设备，其特征在于，所述旋转轴上套设有多个支撑环，每层所述沉积单元的中心区域分别与所述支撑环的外围相连。

3.如权利要求2所述的LED灯珠薄膜封装的空间原子层沉积设备，其特征在于，所述隔断的一端与所述沉积功能腔室的内侧壁固定连接，另一端分别与所述支撑环固定连接；当所述旋转轴旋转时，所述支撑环保持静止，与所述支撑环连接的隔断也保持静止。

4.如权利要求1所述的LED灯珠薄膜封装的空间原子层沉积设备，其特征在于，所述托盘单元包括若干个连接杆以及分别与所述连接杆相连的托盘，所述连接杆的内端分别与所述旋转轴固定连接。

5.如权利要求4所述的LED灯珠薄膜封装的空间原子层沉积设备，其特征在于，所述托盘为圆形或者扇形或者正方形或者长方形或者椭圆形。

6.如权利要求4所述的LED灯珠薄膜封装的空间原子层沉积设备，其特征在于，所述托盘单元的最高点与其上方所述隔断底沿之间的距离为1-5cm，所述连接杆的最低点与其下方所述隔断的顶沿之间的距离为1-5cm。

7.如权利要求1所述的LED灯珠薄膜封装的空间原子层沉积设备，其特征在于，所述气体注入口/真空抽气口呈扁长方体或圆柱体或者椭圆柱体，其一端与功能腔室连通，另一端设置有若干密布的进气孔和抽气孔，所述进气孔的孔径小于所述抽气孔的孔径。

8.如权利要求1所述的LED灯珠薄膜封装的空间原子层沉积设备，其特征在于，所述气体注入口/真空抽气口位于每层所述沉积单元中隔断的下部，所述气体注入口/真空抽气口高于其所在沉积单元中隔断的下沿0-20cm。

9.如权利要求1所述的LED灯珠薄膜封装的空间原子层沉积设备，其特征在于，所述LED灯珠薄膜封装的空间原子层沉积设备还包括设置于所述沉积功能腔室一侧的样品装载转运功能腔室，所述样品装载转运功能腔室的内部设置有机械手。

10.如权利要求9所述的LED灯珠薄膜封装的空间原子层沉积设备，其特征在于，每层所述沉积单元的高度为5-30cm；所述样品装载转运功能腔室上设置有气动真空门和控制面板。