[发明专利]射频电源控制系统及其校准方法、装置和半导体设备

权利要求书

1.一种射频电源控制系统校准方法，其特征在于，所述射频电源应用于半导体设备中，所述射频电源控制系统校准方法包括：

获取所述射频电源的待校准信号的采集值的第一初值校准值和第一满量程校准值，所述待校准信号包括前向功率信号、反射功率信号和控制信号中的至少其中之一；

获取所述待校准信号的反馈输出值的第二初值校准值和第二满量程校准值；

根据所述第一初值校准值、所述第一满量程校准值以及所述待校准信号的满量程值对所述待校准信号当前的采集值进行校准，以获取所述待校准信号的实际采集值；具体通过以下公式对所述待校准信号当前的采集值进行校准计算：

其中，P_F为所述待校准信号的实际采集值，P_Fs为所述待校准信号当前的采集值，P_Fa1为所述第一初值校准值，P_Fa2为所述第一满量程校准值，P_Fmax为所述待校准信号的满量程值；

根据所述待校准信号的实际采集值、所述第二初值校准值、所述第二满量程校准值以及所述待校准信号的满量程值对所述待校准信号当前的反馈输出值进行校准，以获取所述待校准信号的实际反馈输出值；具体通过以下公式对所述待校准信号当前的反馈输出值进行校准计算：

其中，P_Fb为所述待校准信号的实际反馈输出值，P_F为所述待校准信号的实际采集值，P_Fba1为所述第二初值校准值，P_Fba2为所述第二满量程校准值，P_Fmax为所述待校准信号的满量程值。

2.根据权利要求1所述的射频电源控制系统校准方法，其特征在于，所述获取所述射频电源的待校准信号的采集值的第一初值校准值和第一满量程校准值包括：

设置所述射频电源的所述待校准信号的输入信号为零；

将所述待校准信号当前的采集值作为所述第一初值校准值；

设置所述待校准信号的输入信号为所述待校准信号的满量程值；

将所述待校准信号当前的采集值作为所述第一满量程校准值。

3.根据权利要求1所述的射频电源控制系统校准方法，其特征在于，所述获取所述待校准信号的反馈输出值的第二初值校准值和第二满量程校准值包括：

调整所述待校准信号的反馈输出值至反馈输出信号为零；

将所述待校准信号当前的反馈输出值作为所述第二初值校准值；

调整所述待校准信号的反馈输出值至反馈输出信号为满量程值；

将所述待校准信号当前的反馈输出值作为所述第二满量程校准值。