[发明专利]信息处理装置和信息处理方法

权利要求书

1.一种信息处理装置，其特征在于，包括：

获取单元，被配置为获取关于基板处理的处理信息，所述处理信息包括处理数据和处理条件；以及

显示控制单元，被配置为基于由获取单元获取的处理信息来控制显示装置上的显示，

其中，显示控制单元被配置为在显示装置上选择性地显示第一画面和第二画面，第一画面逐批次地显示包括多个基板的批次的处理数据，第二画面逐基板地显示第一批次的处理数据，第一批次是由用户从第一画面上显示的批次中指定的批次。

2.一种信息处理装置，其特征在于，包括：

获取单元，被配置为获取关于基板处理的处理信息，所述处理信息包括处理数据和处理条件；以及

显示控制单元，被配置为基于由获取单元获取的处理信息来控制显示装置上的显示，

其中，显示控制单元被配置为在显示装置上将第一画面和第二画面一起显示，第一画面逐批次地显示包括多个基板的批次的处理数据，第二画面逐基板地显示第一批次的处理数据，第一批次是由用户从第一画面上显示的批次中指定的批次。

3.根据权利要求1所述的信息处理装置，其中，处理数据是包括执行基板处理的处理装置的操作的结果和经历基板处理的基板的状态的信息。

4.根据权利要求1所述的信息处理装置，其中，处理条件是包括配方和装置参数的条件，所述配方是由多个装置共享和使用的处理条件并且所述装置参数是不由所述多个装置共享的处理条件。

5.根据权利要求1所述的信息处理装置，其中，显示控制单元被配置为在显示装置上显示第二画面，所述第二画面逐基板地显示第一批次的处理数据和第二批次的处理数据，第二批次在包括与处理第一批次的处理条件相同的一个或多个处理条件的处理条件下被处理。

6.根据权利要求4所述的信息处理装置，其中，显示控制单元被配置为在显示装置上显示第二画面，所述第二画面逐基板地显示第一批次的处理数据和第二批次的处理数据，第二批次按与处理第一批次的配方相同的配方被处理。

7.根据权利要求5所述的信息处理装置，其中，显示控制单元被配置为在显示装置上显示第二画面，所述第二画面逐基板地显示第一批次的处理数据和第二批次的处理数据以及第一批次的处理条件和第二批次的处理条件。

8.根据权利要求1所述的信息处理装置，其中，第一画面和第二画面中的至少一个将处理数据作为图表显示。

9.根据权利要求1所述的信息处理装置，其中，在显示装置上显示第二画面的显示方法是能够改变的，以突出显示在由用户指定的第三批次和第四批次的处理条件当中的具有差异的处理条件。

10.根据权利要求1所述的信息处理装置，还包括计算单元，所述计算单元被配置为基于由获取单元获取的多个基于基板的处理数据来计算基于批次的处理数据。

11.根据权利要求10所述的信息处理装置，其中，计算单元被配置为基于来自所述多个基于基板的处理数据的最大值、最小值、平均值、中值和标准偏差中的至少一个统计处理来计算基于批次的处理数据。

12.一种信息处理方法，其特征在于，包括：

获取关于基板处理的处理信息，所述处理信息包括处理数据和处理条件；以及

基于所获取的处理信息来控制显示装置上的显示，

其中，执行控制以在显示装置上选择性地显示第一画面和第二画面，第一画面逐批次地显示包括多个基板的批次的处理数据，第二画面逐基板地显示第一批次的处理数据，第一批次是由用户从第一画面上显示的批次中指定的批次。