[发明专利]一种PVT法单晶批量制备装置及方法

权利要求书

1.一种PVT法单晶批量制备装置，其特征在于：包括加热器(1)、石墨盖(2)、石墨托(3)、籽晶支撑结构(4)、籽晶(5)、坩埚中段(7)、石墨筒(8)、感应线圈(9)、石墨盘(10)、支撑环(11)、坩埚体(12)和籽晶托(14)，所述坩埚体(12)、坩埚中段(7)、石墨盖(2)由下至上依次连接，在坩埚体(12)与坩埚中段(7)连接部安装有石墨盘(10)，石墨盘(10)上加工有多个圆形通孔，圆形通孔对应位置安装石墨筒(8)，石墨筒(8)位于坩埚中段(7)内部，坩埚中段(7)与石墨盖(2)连接部安装有支撑环(11)，支撑环(11)的上部设置有石墨托(3)，石墨托(3)上与石墨盘(10)圆形通孔对应位置处加工有圆孔，石墨托(3)的圆孔内通过籽晶支撑结构(4)连接有籽晶托(14)，籽晶托(14)的下部连接籽晶(5)，感应线圈(9)安装在坩埚中段(7)和坩埚体(12)的外侧，加热器(1)位于装置的上下两侧。

2.根据权利要求1所述的一种PVT法单晶批量制备装置，其特征在于：还包括石墨片(6)，石墨托(3)与石墨盖(2)之间安装石墨片(6)。

3.根据权利要求1所述的一种PVT法单晶批量制备装置，其特征在于：所述坩埚体(12)的上部加工有阶梯卡环，石墨盘(10)安装在坩埚体(12)的阶梯卡环处。

4.根据权利要求1-3任一所述的一种PVT法单晶批量制备装置，其特征在于：所述石墨筒(8)的下端连接多孔石墨筒(16)，多孔石墨筒(16)插入到坩埚体(12)内的反应原料(15)中。

5.一种PVT法单晶批量制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一：将连接后的石墨筒(8)与多孔石墨筒(16)放入到坩埚体(12)中，向坩埚体(12)内放入反应原料(15)，将石墨盘(10)圆形通孔与石墨筒(8)配合连接使石墨筒(8)与多孔石墨筒(16)位置固定；

步骤二：石墨盘(10)上端连接坩埚中段(7)，在坩埚中段(7)上方内侧放入支撑环(11)，在支撑环(11)上方放置石墨托(3)；

步骤三：将承载籽晶(5)的籽晶托(14)放置到籽晶支撑结构(4)上，籽晶支撑结构(4)固定在石墨托(3)的圆孔处，将石墨片(6)放置在石墨托(3)上侧，盖上石墨盖(2)；

步骤四：启动加热器(1)和感应线圈(9)，进入长晶阶段；

步骤五：长晶阶段结束后，降温至室温；

步骤六：依次拆解石墨盖(2)、石墨片(6)，取出石墨托(3)，从石墨托(3)上取下籽晶支撑结构(4)，得到单晶体。