[发明专利]一种晶圆片自动打磨装置

权利要求书

1.一种晶圆片自动打磨装置，其特征在于，包括机架(1)以及沿机架(1)高度方向自上而下依次设置的：

放料机构(2)，包括放料组件，可拆卸固定连接在所述机架(1)上，用于对切片后的晶圆片进行放料；

研磨机构(3)，包括驱动组件(31)和打磨组件(32)，所述打磨组件(32)沿机架(1)长度方向间隔设置有两组，晶圆片位于两组打磨组件(32)之间，且所述驱动组件(31)驱动打磨组件(32)对晶圆片进行打磨；

支撑机构(4)，其位于所述研磨机构(3)下方，用于对待打磨的晶圆片进行支撑；

抬升机构(5)，包括抬升组件和承接件(6)，所述抬升组件架设在机架(1)上，且所述抬升组件驱动所述承接件(6)将打磨后的晶圆片沿远离支撑机构(4)的方向位移；所述承接件(6)的长度方向与机架(1)的宽度方向平行，所述承接件(6)上均匀间隔开设有多个承接槽(611)，所述承接槽(611)与导向槽(211)、放料槽(221)一一对应；

所述放料组件包括放料架(21)和放料盒(22)，所述放料盒(22)可拆卸固定在放料架(21)上，所述放料盒(22)内沿机架(1)宽度方向均匀间隔设置有多个放料槽(221)，所述放料架(21)上开设有导向槽(211)，所述导向槽(211)与放料槽(221)的长度方向均与所述机架(1)的高度方向平行，且所述导向槽(211)与放料槽(221)一一对应且连通；

所述支撑机构(4)包括支撑辊(41)，所述支撑辊(41)转动连接在机架(1)上，所述支撑辊(41)位于打磨组件(32)下方，且晶圆片的外缘与所述支撑辊(41)的外侧壁抵接；

所述抬升组件包括伺服电机(51)、蜗轮(52)、蜗杆(53)以及螺杆(54)，所述伺服电机(51)固定在机架(1)上，且所述伺服电机(51)的输出轴呈水平设置，所述蜗杆(53)同轴固定在伺服电机(51)的输出轴上，所述蜗轮(52)与蜗杆(53)相啮合；

所述螺杆(54)同轴穿设在蜗轮(52)上，所述螺杆(54)与蜗轮(52)的内侧壁螺纹连接，所述螺杆(54)背离蜗轮(52)的一端螺纹连接有承接件(6)，所述承接件(6)呈水平设置，所述机架(1)上固定有用于对承接件(6)升降进行导向的导向件(7)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆片自动打磨装置，其特征在于，所述放料架(21)上可拆卸固定有安装板(23)，所述安装板(23)上开设有插接槽(231)，所述插接槽(231)的长度方向与机架(1)的宽度方向平行，所述放料盒(22)靠近放料架(21)的一侧设置有插接条(212)，所述插接条(212)的长度方向与插接槽(231)的长度方向平行，所述插接条(212)插与插接槽(231)插接配合。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆片自动打磨装置，其特征在于：所述打磨组件(32)包括第一打磨辊(321)与第二打磨辊(322)，所述第一打磨辊(321)和第二打磨辊(322)均转动连接在机架(1)上，且所述第一打磨辊(321)与第二打磨辊(322)呈间隔设置，所述第一打磨辊(321)和第二打磨辊(322)上均对称开设有打磨槽(323)，晶圆片的边缘嵌入打磨槽(323)内。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆片自动打磨装置，其特征在于：所述机架(1)宽度方向的两侧壁上均开设有调节槽(11)，所述调节槽(11)呈水平设置，所述第一打磨辊(321)与第二打磨辊(322)的两端均穿设调节槽(11)，所述机架(1)上设置有固定板(12)，所述固定板(12)设置有多个，任一所述固定板(12)中部均安装有轴承(121)，所述第一打磨辊(321)与第二打磨辊(322)的两端均穿过轴承(121)，所述固定板(12)上设置有固定螺栓(122)，所述固定螺栓(122)将固定板(12)可拆卸固定在机架(1)上。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆片自动打磨装置，其特征在于：所述导向件(7)包括导杆(71)，所述导杆(71)上开设有滑移槽(72)，所述承接件(6)远离螺杆(54)的一端设置有滑块(612)，所述滑块(612)嵌入滑移槽(72)内且所述滑块(612)与滑移槽(72)滑移配合。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆片自动打磨装置，其特征在于：所述螺杆(54)上套设有用于对螺杆(54)进行保护的防护罩(8)。