[发明专利]一种基于二维快速傅里叶变换的电子束曝光的邻近效应矫正方法

权利要求书

1.一种基于二维快速傅里叶变换的电子束曝光的邻近效应矫正方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤S11，设置电子束曝光版图矩阵；

步骤S12，使用二维快速傅里叶变化方法计算电子束正向曝光模拟的能量沉积；

二维快速傅里叶变化方法(2D-FFT)对步骤S12中的电子束正向曝光模拟进行加速，能量沉积E表示为：

式中，fft(·)计算操作符表示为二维矩阵的快速傅里叶变化，ifft[·]计算操作符表示为二维矩阵的快速傅里叶逆变化；电子束曝光版图矩阵P(也可表示为P(x,y)，x＝1,2,…,M；y＝1,2,…,N；M,N分别为矩阵的行、列数)需要曝光的像素区域设置为1，不需要曝光的像素区域设置为0；PSF(也可表示为PSF(x,y))是电子束在光刻胶中散射的点扩散函数矩阵向量；K表示电子束曝光剂量因子矩阵向量，且矩阵K、P和PSF的行、列均相同；

步骤S13，计算电子束曝光后的阈值显影图案强度；

计算电子束曝光后的阈值显影图案强度D(x,y)(x＝1,2,…,M；y＝1,2,…,N；M,N分别为矩阵的行、列数，也可表示为D)，其计算方法为：

式中，Sigmoid函数中参数λ是函数坡度，τ是光刻胶显影阈值；

可选地，显影图案强度D可以通过以下计算方法得出：

式中，Heaviside函数中参数λ是函数坡度，τ是光刻胶显影阈值；

步骤S14，设置收敛精度，计算电子束曝光版图误差函数，判断是否收敛；

设置收敛精度ε，判断是否收敛，当版图迭代误差lossε时，执行步骤S15；当版图迭代误差loss ε时，得到矫正后的剂量结果，执行步骤S16；

计算电子束曝光版图误差函数loss(D)，其计算方法为：

对应公式(3)可选地，计算电子束曝光版图误差函数loss(D)，其计算方法为：

步骤S15，计算电子束曝光剂量因子矩阵向量梯度迭代直至收敛；

计算电子束曝光剂量因子矩阵向量梯度迭代，第n次迭代后电子束曝光剂量因子矩阵向量K_n计算方法为：

式中，是第n-1次迭代的电子束曝光版图误差函数对张量K_n-1求偏导，n1,且为整数，η为步进率；

步骤S16，将电子束曝光版图剂量矫正结果转化为可用于曝光的数据类型。