[发明专利]一种加速金属片表面纳米二氧化硅自动沉积成膜装置

权利要求书

1.一种加速金属片表面二氧化硅自动沉积成膜装置，包括有固定架H控制器、其特征是：还包括有输送机构、转浸机构和加速沉积成膜机构；固定架与控制器相连接；固定架与输送机构相连接；固定架与转浸机构相连接；固定架与加速沉积成膜机构相连接；转浸机构与加速沉积成膜机构相连接；

输送机构包括有第一电动滑块、第一U形连接板、第二电动滑块、第一传动轴、第一平齿轮、第一连接板、第三电动滑块、第一连接柱、第二连接柱、第一电动推杆、第二U形连接板、第二传动轴、第二平齿轮和第三平齿轮；第一电动滑块与固定架进行滑动连接；第一电动滑块与两组第一U形连接板进行固接；两组第一U形连接板之间两侧均设置有一组第一电动滑块；第一U形连接板与两组第二电动滑块进行滑动连接；第二电动滑块与第一传动轴进行转动连接；第一传动轴与第一平齿轮进行固接；第一传动轴与第一连接板进行固接；第一连接板与两组第三电动滑块进行滑动连接；第二电动滑块、第一连接板和第三电动滑块在第一U形连接板两侧均设置有一组；两组第一连接板上均设置有两组第三电动滑块；第一连接柱与另一组第二电动滑块进行固接；第一连接柱与第二连接柱进行转动连接；第二连接柱与另一组第一连接板进行固接；两组第一U形连接板上均设置有一组第二电动滑块至第二连接柱；第一电动滑块上方设置有第二平齿轮；第二平齿轮与第二传动轴进行固接；第二传动轴与第二U形连接板进行转动连接；第二传动轴与第三平齿轮进行固接；第二U形连接板与第一电动推杆进行固接；第一电动推杆与固定架进行固接；

转浸机构包括有电机、第三传动轴、第一锥齿轮、第二锥齿轮、第四平齿轮、第三锥齿轮、第一滑套、第四传动轴、第二连接板、第二电动推杆、第一传动轮、第二传动轮、第五传动轴、第五平齿轮、齿盘、第三连接柱、圆盘、第一溶液放置框、第二溶液放置框、防护板、废液收集框、氮气存放桶、第三连接板、第一氮气输送管、第一氮气出管、第六传动轴、第六平齿轮、第四连接板、第四电动滑块、去离子水存放框、第五电动滑块、第六电动滑块、去离子水输送管、去离子水出管、第四连接柱、第五连接柱、第二氮气输送管和第二氮气出管；电机与固定架进行固接；电机输出轴与第三传动轴进行固接；第三传动轴与固定架进行转动连接；第三传动轴同时与第一锥齿轮、第二锥齿轮和第四平齿轮进行固接；第一锥齿轮与加速沉积成膜机构进行啮合；第二锥齿轮上方设置有第三锥齿轮；第三锥齿轮与第一滑套进行固接；第一滑套与第四传动轴相连接；第一滑套与第二连接板进行转动连接；第四传动轴与固定架进行转动连接；第四传动轴与第一传动轮进行固接；第二连接板与第二电动推杆进行固接；第二电动推杆与固定架进行固接；第一传动轮外环面通过皮带与第二传动轮进行传动连接；第二传动轮第五传动轴进行固接；第五传动轴与固定架进行转动连接；第五传动轴与第五平齿轮进行固接；第五平齿轮与齿盘进行啮合；齿盘与第三连接柱进行固接；第三连接柱与固定架进行转动连接；第三连接柱与圆盘进行固接；圆盘通过连接块同时与两组第三连接板进行固接；圆盘下方设置有第一溶液放置框；第一溶液放置框与固定架进行固接；第一溶液放置框与防护板进行固接；第一溶液放置框侧面设置有第二溶液放置框；第二溶液放置框与固定架进行固接；第二溶液放置框与防护板进行固接；第一溶液放置框和第二溶液放置框在固定架上对角均设置有一组；防护板在另一组第一溶液放置框和第二溶液放置框上也设置有一组；两组防护板之间设置有废液收集框；废液收集框与固定架进行固接；第三连接板与氮气存放桶进行固接；第三连接板与第一氮气输送管进行固接；第三连接板与第六传动轴进行转动连接；第三连接板与第二氮气输送管进行固接；第一氮气输送管与多组第一氮气出管进行固接；第六传动轴与第六平齿轮进行固接；第六传动轴与第四连接板进行固接；第四连接板与第四电动滑块进行滑动连接；第四电动滑块与去离子水存放框进行固接；第四电动滑块同时与第五电动滑块和第六电动滑块进行滑动连接；第四电动滑块与去离子水输送管进行固接；去离子水存放框与去离子水输送管进行固接；第五电动滑块和第六电动滑块在第四电动滑块两侧均设置有一组；去离子水输送管同时与多组去离子水出管进行固接；第四连接板在第四电动滑块两侧均设置有一组；另一组第四连接板与第四连接柱进行固接；第四连接柱与第五连接柱进行转动连接；第五连接柱与第三连接板进行固接；第一氮气输送管、第一氮气出管、第六传动轴至第六电动滑块、第四连接柱和第五连接柱在第三连接板两侧均设置有一组；且另外两组第四连接板更加靠近氮气存放桶；氮气存放桶至第二氮气出管在圆盘对角处均设置有一组；

加速沉积成膜机构包括有第四锥齿轮、第七传动轴、第三传动轮、第四传动轮、第八传动轴、第五锥齿轮、第六锥齿轮、第九传动轴、第二滑套、第七平齿轮、第五连接板、第三电动推杆、第五传动轮、第六传动轮和第十传动轴；第四锥齿轮与第一锥齿轮进行啮合；第四锥齿轮与第七传动轴进行固接；第七传动轴与固定架进行转动连接；第七传动轴同时与第三传动轮和第五传动轮进行固接；第三传动轮外环面通过皮带与第四传动轮进行传动连接；第四传动轮与第八传动轴进行固接；第八传动轴与固定架进行转动连接；第八传动轴与第五锥齿轮进行固接；第五锥齿轮与第六锥齿轮进行啮合；第六锥齿轮与第九传动轴进行固接；第九传动轴与固定架进行转动连接；第九传动轴与第二滑套相连接；第二滑套与第七平齿轮进行固接；第二滑套与第五连接板进行转动连接；第五连接板与第三电动推杆进行固接；第三电动推杆与固定架进行固接；第五传动轮外环面通过皮带与第六传动轮进行传动连接；第六传动轮与第十传动轴进行固接；第十传动轴与固定架进行转动连接；第五锥齿轮至第三电动推杆在固定架对角处也设置有一组；第十传动轴与另一组第五锥齿轮进行固接；

第一电动推杆带动第二U形连接板至第三平齿轮向下运动，直至第三平齿轮与第四平齿轮啮合，同时，第二平齿轮也同时与两组第一平齿轮啮合，然后电机带动第四平齿轮转动，第四平齿轮通过第三平齿轮传动第二传动轴，第二传动轴通过第二平齿轮同时传动两组第一平齿轮，通过两组第一平齿轮带动两组第一传动轴转动一百八十度；

第三电动推杆带动第五连接板向靠近第六平齿轮处运动，即带动第二滑套和第七平齿轮向靠近第六平齿轮处运动，直至第七平齿轮与第六平齿轮啮合，然后第六锥齿轮通过第九传动轴传动第二滑套，第二滑套通过第七平齿轮传动第六平齿轮。