[发明专利]一种X射线电子能谱仪多功能样品试验台

说明书

本发明提供了一种X射线电子能谱仪多功能样品试验台，包括由非磁性材料制备的第一试验台和第二试验台；样品可放置在所述第一试验台上，在水平X、Y方向进行位置调节；所述第二试验台包与所述第一试验台的结构相同，样品可放置在第二试验台上进行Z方向上的位置调节。该X射线电子能谱仪多功能样品试验台，解决现有X射线光电子能谱仪难以对异形样品或较大尺寸的样品进行测试的问题。

技术领域

本发明属于材料分析设备技术领域，具体涉及一种X射线电子能谱仪多功能样品试验台。

背景技术

X射线光电子能谱仪可以对绝大多数的固体样品进行元素成分的价态分析，同时可完成定量及半定量，目前已广泛应用于元素分析、多相研究、化合物结构鉴定；是氧化、腐蚀、摩擦、润滑、燃烧、催化、包覆等微观机理研究中不可或缺的研究工具。

X射线光电子能谱仪，对于大多数的固体样品均可进行测试，但是对于一些异形样品或较大尺寸的样品无法进行测试。造成无法测试的原因主要是由于样品的体积比较庞大，无法固定在样品室内。

发明内容

本发明的目的是提供一种X射线电子能谱仪多功能样品试验台，解决现有X射线光电子能谱仪难以对异形样品或较大尺寸的样品进行测试的问题。

为了达到上述目的，本发明所采用的技术方案是：一种X射线电子能谱仪多功能样品试验台，包括由非磁性材料制备的：

第一试验台，样品可放置在所述第一试验台上，在水平X、Y方向进行位置调节；

第二试验台，所述第二试验台包与所述第一试验台的结构相同，样品可放置在第二试验台上进行Z方向上的位置调节；

作为本发明的一种优选的技术方案，还包括基座，所述底板设置在所述基座上，所述基座上预留有用于拧动所述顶头的U形槽。

作为本发明的一种优选的技术方案，所述非磁性材料为锌合金或铜钨合金或铝镁合金。

作为本发明的一种优选的技术方案，所述第一试验台包含：

底板，底板上设置有两支撑杆；

支撑板，支撑板上设置有多个安装孔，两支撑杆的上端设置在对应的安装孔中。

作为本发明的一种优选的技术方案，所述底板上也设置有多个安装孔，两所述支撑杆的下端设置在底板上对应的两安装孔中。

作为本发明的一种优选的技术方案，所述支撑杆的两端分别通过对应的螺母固定再对应的安装孔中。

本发明的有益效果是：本发明的一种X射线电子能谱仪多功能样品试验台，可实现X射线光电子能谱仪对大型样品和异形样品的测试，同时具备聚焦和良好信号采集的特点，解决了大型样品及异型样品在仪器样品室中的放置问题；同时还可以解决大型样品及异形样品无法进行数据采集和无检测信号的问题。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本发明的一部分，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：

图1为本发明的一种X射线电子能谱仪多功能样品试验台中第一试验台的结构示意图；

图2为本发明的一种X射线电子能谱仪多功能样品试验台中第二试验台的结构示意图。

图中：1.底板，2.支撑板，3.支撑柱，4.螺母。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。