[发明专利]检测方法、系统、设备及计算机可读存储介质在审
| 申请号: | 202110309782.7 | 申请日: | 2021-03-23 |
| 公开(公告)号: | CN113109350A | 公开(公告)日: | 2021-07-13 |
| 发明(设计)人: | 陈鲁;魏林鹏;胡田军;林浩;张嵩 | 申请(专利权)人: | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
| 主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88;G01N21/01 |
| 代理公司: | 深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 44281 | 代理人: | 郭燕;彭家恩 |
| 地址: | 518000 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 检测 方法 系统 设备 计算机 可读 存储 介质 | ||
1.一种检测方法,其特征在于,应用于检测设备,所述方法包括:
控制激光光源发射激光并照射在待测件的表面以形成激光光斑;
控制待测件相对于激光移动,并实时检测所述激光光斑在待测件上的第一位置;
当所述第一位置位于所述待测件的待测区域时,控制用于遮挡激光的快门打开,当所述第一位置位于所述待测件的非检测区域时,控制所述快门关闭;
接收所述待测区域的检测信息,根据所述检测信息对所述待测区域是否存在缺陷进行判断。
2.如权利要求1所述的检测方法,其特征在于,所述控制待测件相对于激光移动,并实时检测所述激光光斑在待测件上的第一位置,之后还包括:
确定待测件表面的待测区域以及非检测区域。
3.如权利要求2所述的检测方法,其特征在于,所述确定待测件表面的待测区域以及非检测区域,包括:
通过图像采集部件采集待测件表面图像以确定所述待测区域以及所述非检测区域;
或,根据待测件对激光的所述检测信息确定所述待测区域以及所述非检测区域;
或,根据预设参数确定所述待测区域与所述非检测区域。
4.如权利要求1所述的检测方法,其特征在于,所述实时检测所述激光光斑在待测件上的第一位置包括:
通过激光光源的出射角度以及所述激光光源与用于固定待测件的承载装置的相对位置确定所述激光光斑的所述第一位置;
或,通过图像采集单元采集待测件上的所述激光光斑的所述第一位置。
5.如权利要求1所述的检测方法,其特征在于,所述当所述第一位置位于所述待测件的待测区域时,控制用于遮挡激光的快门打开,当所述第一位置位于所述待测件的非检测区域时,控制所述快门关闭,包括:
确定待测件的所述待测区域的第一位置编码范围以及所述非检测区域的第二位置编码范围;
当所述第一位置对应的位置编码位于所述第一位置编码范围时,控制所述快门打开,当所述第一位置对应的位置编码位于所述第二位置编码范围时,控制所述快门关闭。
6.一种检测系统,其特征在于,包括:
激光单元,用于控制激光光源发射激光并照射在待测件的表面以形成激光光斑;
移动单元,用于控制待测件相对于激光移动;
区域检测单元,实时检测所述激光光斑在待测件上的第一位置;
快门控制单元,用于当所述第一位置位于所述待测件的待测区域时,控制用于遮挡激光的快门打开,当所述第一位置位于所述待测件的非检测区域时,控制所述快门关闭;
光检测单元,接收所述待测区域的检测信息,根据所述检测信息对所述待测区域是否存在缺陷进行判断。
7.一种检测设备,其特征在于,包括:
承载装置,用于承载待测件;
激光光源,包括发射激光至待测件表面并形成激光光斑的激光发射单元以及用于允许或遮挡激光发射至待测件表面的快门;
驱动机构,用于驱动所述承载装置或所述激光发射单元移动;
位置检测单元,用于实时检测所述激光光斑在待测件上的第一位置;
处理器,用于当所述第一位置位于所述待测件的待测区域时,控制用于遮挡激光的快门打开,当所述第一位置位于所述待测件的非检测区域时,控制所述快门关闭;
图像检测单元,用于接收所述待测区域的检测信息,并根据所述检测信息对所述待测区域是否存在缺陷进行判断。
8.如权利要求7所述的检测设备,其特征在于,所述位置检测单元用于实时检测所述激光光斑在待测件上的第一位置之后,还用于确定待测件表面的待测区域以及非检测区域。
9.如权利要求8所述的检测设备,其特征在于,
所述位置检测单元确定待测件表面的待测区域以及非检测区域,包括:通过图像采集部件采集待测件表面图像以确定所述待测区域以及所述非检测区域;
或,根据待测件对激光的所述检测信息确定所述待测区域以及所述非检测区域;
或,根据预设参数确定所述待测区域与所述非检测区域。
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