[发明专利]辅助散射面板及其制作方法和显示装置有效
| 申请号: | 202110264679.5 | 申请日: | 2021-03-11 |
| 公开(公告)号: | CN113156734B | 公开(公告)日: | 2022-07-01 |
| 发明(设计)人: | 孙明剑;李家琪 | 申请(专利权)人: | 昆山龙腾光电股份有限公司 |
| 主分类号: | G02F1/29 | 分类号: | G02F1/29;G02F1/1343;G02F1/1335;G02F1/1347 |
| 代理公司: | 上海波拓知识产权代理有限公司 31264 | 代理人: | 蔡光仟 |
| 地址: | 215301 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 辅助 散射 面板 及其 制作方法 显示装置 | ||
一种辅助散射面板及其制作方法和显示装置,制作方法包括以下步骤:提供衬底基板;在衬底基板上形成金属线路层;在金属线路层和衬底基板上形成第一钝化层;使用掩模板,在第一钝化层上制作第一光刻胶层;对第一钝化层进行第一次刻蚀,制作出透镜结构和凸起部;剥离第一光刻胶层;在第一钝化层上形成平坦化层;对第一钝化层进行第二次刻蚀,将金属线路层上方的第一钝化层去除,在刻蚀后凸起部仍然保留并暴露;在平坦化层上沉积整层的透明电极层,透明电极层顺沿平坦化层铺设至暴露的凸起部上,然后再铺设至金属线路层上并与金属线路层导电连接。该制作方法可避免出现底切问题,使透明电极层爬坡处平缓连接,降低透明电极层断裂的风险。
技术领域
本发明涉及屏幕显示技术领域,尤其涉及一种与显示面板搭配使用的辅助散射面板及其制作方法,以及具有所述辅助散射面板的显示装置。
背景技术
薄膜晶体管液晶显示器(Thin Film Transistor Liquid CrystalDisplay,TFT-LCD)能够显示高清、连续、细腻的画面,越来越受消费者青睐。
现有一种新型液晶显示技术,将两个液晶盒叠加并用于显示,其中一个液晶盒为显示面板,主要功能为显示画面,另一个液晶盒为辅助散射面板,其设有透镜结构,主要功能为散射光线。通过给散射面板内的上下电极通电,形成电势差控制液晶分子偏转,底部光源经过透镜结构和液晶分子后,增强显示区域的散射效果。
请参照图1a至图1f所示,针对辅助散射面板,现有的制作工艺流程包括:在衬底基板11表面制作出金属线路层12,金属线路层12位于外围区域;之后沉积钝化层13,使用掩模板,在钝化层13上制作光刻胶层14,光刻胶层14在曝光、显影之后形成多个光刻胶图案141、142、143、144,再通过干法刻蚀工艺去除部分钝化层13,即去除未被光刻胶图案141、142、143、144覆盖的部分钝化层13,在移除光刻胶层14之后在钝化层13上制作出透镜结构,透镜结构包含多个透镜131和位于相邻透镜131之间的凹部132,透镜结构所在范围对应显示面板的显示区域;再在钝化层13上制作平坦化层15,使透镜结构的上方平坦化;之后对平坦化层15进行曝光、显影制程,去除平坦化层15左侧部分。
后续步骤请参照图1g至1h所示,借助平坦化层15的遮挡,通过干法刻蚀工艺去除显示区域外未被平坦化层15遮挡的钝化层13残留,暴露出金属线路层12,由于刻蚀速率选择比的差异,钝化层13出现底切现象(参图中虚线框133所示,钝化层13缩进至位于平坦化层15下方),之后在平坦化层15上制作整面的透明电极层16,透明电极层16同时覆盖金属线路层12和平坦化层15,但由于底切问题,导致透明电极层16在底切位置处容易发生断裂,如图1h所示,从外围区域传来的信号无法传输到平坦化层15上的透明电极层16,进而无法实现需要的显示效果。
现有的技术问题解决方式为:额外设计及采购一块掩模板(Msak),在上述图1f之后,通过光刻和干法刻蚀工艺去除金属线路层12上方的钝化层13(即不再是借助平坦化层15的遮挡来去除金属线路层12上方的钝化层13),但这样做需要额外设计及采购一块掩模板,增加了制作成本。
发明内容
本发明主要解决的问题在于,提供一种辅助散射面板的制作方法,在原有技术上变更钝化层的图形设计,对平坦化层边缘下方附近区域的钝化层不做刻蚀,使透明电极层爬坡处平缓连接,解决制作透明电极层时,平坦化层下方出现钝化层底切的现象,以避免透明电极层爬坡时发生断裂,并且无需额外设计及采购掩模板,节约成本。
本发明提供一种辅助散射面板的制作方法,包括以下步骤:
提供衬底基板;
在所述衬底基板上形成金属线路层;
在所述金属线路层和所述衬底基板上形成第一钝化层;
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