[发明专利]探针和检查单元

权利要求书

1.一种探针，该探针是具备如下部分的板状的探针：

弹性部，其沿着第1方向伸缩；

第1接触部，其配置于所述弹性部在所述第1方向上的一端；以及

第2接触部，其配置于所述弹性部在所述第1方向上的另一端，其中，

所述弹性部具有：

多个直线部，它们沿着与所述第1方向交叉的第2方向延伸；和

弯曲部，其与所述直线部在所述第2方向上的一个端部连接，

所述直线部和所述弯曲部以沿着所述第1方向交替连续的方式配置，

所述第1接触部相对于第1直线部在所述第2方向的一端侧与该第1直线部连接，所述第1直线部是在所述第1方向上配置得最接近所述第1接触部的所述直线部，

所述第2接触部相对于第2直线部在所述第2方向上的和所述第1接触部相同的一侧与该第2直线部连接，所述第2直线部是在所述第1方向上配置得最接近所述第2接触部的所述直线部，

在所述直线部的宽度方向的中间和所述弯曲部的宽度方向的中间分别设置有贯通孔，所述贯通孔在与所述第1方向和所述第2方向交叉的板厚方向上分别贯通所述直线部和所述弯曲部，并且沿着所述直线部的形状和所述弯曲部的形状延伸，

在沿所述探针的板厚方向观察的情况下，所述第1接触部在所述第2方向上的所述一端侧的外形线与所述第1直线部的靠第2接触部侧的外形线经由所述弯曲部的径向外侧的外形线连接。

2.根据权利要求1所述的探针，其中，

所述贯通孔从在所述第1方向上最接近所述第2接触部的所述直线部起，沿着所述直线部的形状和所述弯曲部的形状延伸至与所述第1接触部连接的所述弯曲部。

3.一种检查单元，其中，

所述检查单元具备：

至少一对权利要求1或2所述的探针；和

插座，其能够收纳至少一对所述探针；

至少一对所述探针以互相隔开间隔且所述第1接触部相邻的状态收纳于所述插座中，

所述插座被设置成关于穿过至少一对所述探针之间的假想平面对称。