[发明专利]测量薄膜光学常数的方法、系统、计算设备和存储介质

权利要求书

1.一种用于测量薄膜光学常数的方法，包括：

经由角分辨光谱仪，获取关于待测对象的第一光谱数据，所述第一光谱数据至少指示所述待测对象在入射光的多个波长下、对应于多个测量角度的反射率，所述待测对象包括配置在衬底的表面的待测薄膜，所述待测薄膜的折射率小于所述衬底的折射率；

基于所述第一光谱数据，提取预定波长下的第一光谱数据，所述预定波长下的第一光谱数据指示所述待测对象在所述预定波长下、对应于所述多个测量角度的反射率，所述预定波长为所述多个波长的至少部分数量波长中的每一个波长；

确定所述预定波长下的第一光谱数据中的最大反射率和最小反射率、所述最大反射率所对应的第一测量角度和所述最小反射率所对应的第二测量角度；以及

基于所述最大反射率和所述第一测量角度，计算所述衬底在预定波长下的折射率；以及

基于所述衬底在预定波长下的折射率、所述最小反射率以及所述第二测量角度，计算所述待测薄膜在预定波长下的折射率。

2.根据权利要求1所述的方法，还包括：

基于所述衬底在所述每一个波长下的折射率，生成所述衬底的折射率随波长变化的曲线；以及

基于所述待测薄膜在所述每一个波长下的折射率，生成所述待测薄膜的折射率随波长变化的曲线。

3.根据权利要求1所述的方法，其中确定所述预定波长下的第一光谱数据中的最大反射率和最小反射率、以及所述最大反射率所对应第一测量角度和所述最小反射率所对应第二测量角度包括：

比较所述预定波长下的第一光谱数据中对应于多个测量角度的反射率，以便确定所述预定波长下的第一光谱数据中的最大反射率和最小反射率；以及

基于所述预定波长下的第一光谱数据，获取所述最大反射率所对应第一测量角度和所述最小反射率所对应第二测量角度。

4.根据权利要求1所述的方法，还包括：

获取关于所述待测对象的第二光谱数据，所述第二光谱数据至少指示所述待测对象在入射光的多个波长下、对应于多个测量角度的透射率，以便基于第二光谱数据分别确定所述待测薄膜和所述衬底在预定波长下的折射率，所述衬底为透明衬底或半透明衬底；

经由以下任一项，确定所述待测薄膜在预定波长下的折射率测量结果：

响应于确定基于所述第一光谱数据而确定的、所述待测薄膜在预定波长下的折射率与基于所述第二光谱数据而确定的、所述待测薄膜在预定波长下的折射率之间的差值小于或者等于预定折射率阈值，将基于所述第一光谱数据而确定的所述待测薄膜在预定波长下的折射率或者基于所述第二光谱数据而确定的所述待测薄膜在预定波长下的折射率确定为所述折射率测量结果；或者

计算基于所述第一光谱数据而确定的所述待测薄膜在预定波长下的折射率和基于所述第二光谱数据而确定的所述待测薄膜在预定波长下的折射率之间的平均值，将所述平均值确定为所述折射率测量结果。

5.根据权利要求1所述的方法，其中所述入射光为S偏振光或者P偏振光，所述待测薄膜为一层或者多层待测薄膜。

6.一种用于测量薄膜光学常数的方法，包括：

经由角分辨光谱仪，获取关于待测对象的第二光谱数据，所述第二光谱数据至少指示所述待测对象在入射光的多个波长下、对应于多个测量角度的透射率，所述待测对象包括配置在衬底的表面的待测薄膜，所述衬底为透明衬底或半透明衬底；

基于所述第二光谱数据，提取预定波长下的第二光谱数据，所述预定波长下的第二光谱数据指示所述待测对象在所述预定波长下、对应于所述多个测量角度的透射率，所述预定波长为所述多个波长的至少部分数量波长中的每一个波长；

确定所述预定波长下的第二光谱数据中的最大透射率和最小透射率，以及所述最大透射率所对应的第三测量角度的和所述最小透射率所对应的第四测量角度；以及

基于所述最大透射率和所述第三测量角度，计算所述衬底在预定波长下的折射率；以及

基于所述衬底在预定波长下的折射率、所述最小透射率以及所述第四测量角度，计算所述待测薄膜在预定波长下的折射率。