[发明专利]闸阀

说明书

一种闸阀，其可判断锁定活塞相对于卡合孔部是否处于卡合状态。闸阀(1)具备开闭闸开口(2)的阀板(4)、固定在阀板(4)上的阀轴(5)、具有驱动杆(21)的气缸(20)和与驱动杆(21)的伸缩运动相应地使阀板(4)在将闸开口(2)封闭的密闭位置和将闸开口(2)全开的全开位置(P1)之间进行往复运动的阀移动机构(29)。气缸(20)的缸外壳(22)具有将移动到密闭位置的阀板(4)锁定的锁定机构和检测阀板(4)锁定状态的锁定检测部。锁定机构具有可进退地设置在缸外壳(22)上的锁定活塞。固定在驱动杆(21)上的凸轮框架(32)具有使锁定活塞卡合的卡合孔部(32c)，锁定检测部检测锁定活塞相对于卡合孔部(32c)是否处于卡合状态。

技术领域

本发明涉及一种闸阀，该闸阀，例如用于在半导体制造装置中安装在真空处理空腔的开口部、与该开口部连接的移送路上并将真空处理空腔通过开口部与其他空腔等连通或者气密地封闭。

背景技术

一般地，闸阀具备对通向真空处理空腔的闸开口进行开闭的阀板，安装在阀板上的阀轴和驱动阀轴的气缸。通过压缩空气的相对于气缸的供给排出来驱动阀轴，并构成为阀板在将闸开口气密地封闭的密闭位置和将闸开口全开的全开位置之间经由与闸开口离开间隔地相向的中间位置进行往复移动。

在这样的闸阀中，如在专利文献1中记载的那样，在使阀板从中间位置向关闭位置移动时，通过使阀轴向关闭位置侧倾斜转动，将阀板的密封部件推靠到闸开口的阀座上将闸开口封闭。

阀板的在密闭位置的位置保持，通过将气缸内的压缩空气的压力保持在一定来进行。因此，在阀板移动到密闭位置的状态下，气缸内的压缩空气的压力丧失，在此情况下，存在闸开口打开而不再能维持密闭状态的危险。

因此，在专利文献1中记载的闸阀中，设置了在阀板移动到密闭位置的状态下将阀板的移动锁定的锁定机构。此锁定机构，在气缸处于缩小状态时，使锁定缸与设置在气缸的活塞上的槽卡合来限制活塞的移动，该锁定缸被设置成可使活塞相对于气缸的缸管进行进退运动。

此锁定机构的锁定缸，被设置成可在安装在气缸的缸管中的外壳内滑动。在外壳内，设置将锁定缸向相对于活塞侧进入的方向加载的锁定弹簧，另一方面，外壳内被构成为可供给用于使锁定活塞向从活塞背离的退避方向移动的压缩空气。因此，在气缸缩小时，如果不再向外壳供给压缩空气，则由于锁定缸由锁定弹簧向相对于活塞侧进入的方向加载，所以能够将锁定缸插入被设置在活塞上的槽中，限制活塞的移动。

[在先技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利第3349962号公报

发明内容

发明所要解决的课题

但是，在专利文献1中记载的锁定机构，在阀板移动到密闭位置的状态下锁定弹簧发生了故障的情况下，存在锁定缸不再能向活塞的槽侧进入的危险。因此，阀板成为可移动的状态，产生不再能通过闸开口将空腔气密地封闭的情况。在此情况下，因为锁定弹簧设置在外壳内，所以锁定机构的锁定缸是否处于向活塞的槽侧进入了的卡合状态的判断是困难的。因此，希望可进行锁定缸相对于活塞的槽是否处于卡合状态的判断的闸阀。

因此，本发明的技术课题在于提供一种可进行锁定机构的锁定活塞相对于被卡合部是否处于卡合状态的判断的闸阀。

为了解决课题的手段