[发明专利]流量阀、质量流量控制装置及流量阀开度控制方法

说明书

本申请提供一种流量阀、质量流量控制装置及流量阀开度控制方法，该流量阀包括阀体、设置在阀体内的移动组件和与移动组件连接的位移传感器，其中：移动组件用于根据接收到的移动信号进行移动，以调节流量阀的流量；位移传感器用于根据移动组件的移动量确定流量阀的实际开度信号，并向流量阀开度控制器发送实际开度信号。应用本申请，可以对MFC上流量阀的开度实现精确控制，提高了MFC的可靠性。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，具体地，涉及一种流量阀、质量流量控制装置及流量阀开度控制方法。

背景技术

质量流量控制器(Mass Flow Controller，MFC)通常用来对流体的质量流量进行精密测量和控制，被广泛应用于半导体和集成电路工艺、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中。

在实际的生产过程中，比如在需要对进入炉内的氩气流量和流速进行精确控制时，根据操作经验和生产环节的具体要求，现场操作人员往往希望在进气口压力一定的前提下，通过给定一定的流量阀开度来实现对进入炉体的气体流速和流量的控制，但目前的气体质量流量控制器还不具备流量阀开度控制的功能。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种流量阀、质量流量控制装置及流量阀开度控制方法，其可以对MFC上流量阀的开度实现精确控制，提高了MFC的可靠性。

为实现本发明的目的，第一方面提供一种流量阀，所述流量阀包括阀体、设置在所述阀体内的移动组件和与所述移动组件连接的位移传感器，其中：

所述移动组件用于根据接收到的移动信号进行移动，以调节所述流量阀的流量；

所述位移传感器用于根据所述移动组件的移动量确定所述流量阀的实际开度信号，并向流量阀开度控制器发送所述实际开度信号。

可选地，所述移动组件与所述阀体组成流体腔，所述流体腔用于容纳流体，所述移动组件用于沿所述阀体的延伸方向移动来调节所述流体腔的大小，以调节所述流量阀的开度。

可选地，所述位移传感器包括主体和伸缩触头，所述伸缩触头与所述移动组件接触并与所述移动组件同步直线运动，所述主体用于感应所述伸缩触头的移动位置，以确定所述流量阀的实际开度信号。

可选地，所述移动组件包括磁性件，所述伸缩触头与所述磁性件接触；

所述流量阀还包括密封件，所述密封件设置在所述阀体靠近所述移动组件的一端，用于对所述阀体进行密封；

所述伸缩触头穿过所述密封件抵压在所述移动组件靠近所述伸缩触头的端面，且所述伸缩触头与所述密封件之间密封贴合。

可选地，所述密封件包括沿所述移动组件的移动方向依次设置的第一密封件和第二密封件，所述第一密封件与所述阀体连接，所述第二密封件与所述第一密封件连接；

所述伸缩触头依次穿过所述第二密封件和所述第一密封件抵压在所述移动组件靠近所述伸缩触头的端面。

可选地，所述流量阀还包括固定支架，所述固定支架与所述阀体连接，用于对所述位移传感器进行支撑和固定。

为实现本发明的目的，第二方面提供一种质量流量控制装置，包括流量阀、流量阀驱动电路及控制器，所述控制器用于向所述流量阀驱动电路提供驱动信号，所述流量阀驱动电路用于根据接收到的所述驱动信号控制所述流量阀的开度，所述流量阀为第一方面所述的流量阀。

可选地，所述控制器包括气体流量控制器和流量阀开度控制器，所述气体流量控制器与所述流量阀连接，用于根据实时流量值与预设的设定流量值，向所述驱动电路提供实际驱动信号，以调节所述流量阀的开度；

所述流量阀开度控制器与所述流量阀连接，用于：