[发明专利]一种氧化锌纳米材料及其制备方法与应用有效
| 申请号: | 202110164783.7 | 申请日: | 2021-02-05 |
| 公开(公告)号: | CN112939060B | 公开(公告)日: | 2022-02-15 |
| 发明(设计)人: | 张光友;曹晔;段国韬;李宝庭;高磊 | 申请(专利权)人: | 中国人民解放军战略支援部队航天系统部装备部装备保障队 |
| 主分类号: | C01G9/03 | 分类号: | C01G9/03;B82Y40/00;G01N27/00;C08G83/00 |
| 代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 盛大文 |
| 地址: | 100094 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 氧化锌 纳米 材料 及其 制备 方法 应用 | ||
1.一种氧化锌纳米材料的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:
(1)将六水合硝酸锌和2-甲基咪唑分别溶于甲醇中,得锌源溶液和2-甲基咪唑溶液;
(2)将所述锌源溶液和所述2-甲基咪唑溶液混合,搅拌25~35 min,静置,离心取沉淀物,洗涤,干燥,得ZIF-8;
(3)将所述ZIF-8按0.8~1.2 g/L的浓度均匀分散到酒精溶液中,得ZIF-8溶液;
(4)将所述ZIF-8溶液分散在硅片上,干燥,得载有8~12μm厚度ZIF-8的硅片;
(5)将所述载有8~12μm厚度ZIF-8的硅片进行氧离子注入工艺;其中,所述氧离子注入工艺的氧气流速为50~150 sccm,电压为100~300 V,功率为700~1000 W,处理时间为5~10min。
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