[发明专利]一种PERC太阳能电池及其制备方法

权利要求书

1.一种PERC太阳能电池，包括太阳能电池的正面设有正面电极，正面电极的下部依次设有减反层和发射极，其特征在于：所述发射极的下方设置具有PN结的硅片层，硅片层的背面依次设有背接触层、钝化层、氮化硅覆盖层和铝浆金属层，所述钝化层和氮化硅覆盖层上均开设有开口，开口的上端与硅片层之间设置有背接触层。

2.根据权利要求1所述的一种PERC太阳能电池，其特征在于：所述减反层为氮化硅减反射薄膜。

3.根据权利要求1所述的一种PERC太阳能电池，其特征在于：所述钝化层为氧化铝层或氧化硅层。

4.根据权利要求3所述的一种PERC太阳能电池，其特征在于：所述钝化层的厚度范围为10-80nm。

5.根据权利要求1所述的一种PERC太阳能电池，其特征在于：所述开口贯穿钝化层和氮化硅覆盖层。

6.根据权利要求5所述的一种PERC太阳能电池，其特征在于：所述开口之间为纵横交错分布成矩形方块状结构。

7.根据权利要求1-6任一所述的一种PERC太阳能电池的制备方法，其特征在于：包括如下步骤：

(1)、制绒清洗，将硅片放在酸性或者碱性溶液中制绒，并进行清洗烘干处理；

(2)、扩散，对制绒清洗后的硅片进行磷扩散和硼扩散；

(3)、刻蚀，对硅片正反面的磷扩散和硼扩散进行刻蚀处理；

(4)、背面抛光，对硅片抛光处理；

(5)、镀膜，在硅片正面镀减反层，在硅片背面镀氧化铝或氧化硅钝化层；

(6)、开口，用激光在硅片背面开口，使开口贯穿钝化层和氮化硅覆盖层；

(7)、丝网印刷，在硅片的正反面分别印刷正面电极和铝浆金属层；

(8)、高温烧结，对丝网印刷后的硅片进行高温烧结处理，制成太阳能电池。

8.根据权利要求7所述的一种PERC太阳能电池的制备方法，其特征在于：所述步骤(5)中硅片背面镀氧化铝或氧化硅钝化层的厚度范围为10-80nm。

9.根据权利要求7所述的一种PERC太阳能电池的制备方法，其特征在于：所述步骤(6)中的开口的方式为激光在硅片背面进行纵横交错烧蚀，使开口为矩形方块状结构。

10.根据权利要求7所述的一种PERC太阳能电池的制备方法，其特征在于：所述开口的宽度范围为5-70nm。