[发明专利]陶瓷加热器在审

专利信息
申请号: 202110146168.3 申请日: 2021-02-02
公开(公告)号: CN113207199A 公开(公告)日: 2021-08-03
发明(设计)人: 梶原升;本山修一郎 申请(专利权)人: 日本碍子株式会社
主分类号: H05B3/02 分类号: H05B3/02;H05B3/26;H01L21/67
代理公司: 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 代理人: 陈彦;郭玫
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 陶瓷 加热器
【权利要求书】:

1.一种陶瓷加热器,具备:

陶瓷板,其在表面具有晶片载置面;

电阻发热体,其埋设在所述陶瓷板中;

筒状轴,其从所述陶瓷板的背面支撑所述陶瓷板;

凹部,其设置在所述陶瓷板的所述背面中被所述筒状轴包围的轴内区域;以及

端子,其向所述电阻发热体供给电力,并设置为在所述凹部的侧面露出。

2.根据权利要求1所述的陶瓷加热器,其中,所述凹部的大小与所述轴内区域一致。

3.根据权利要求1或2所述的陶瓷加热器,其中,所述电阻发热体设置于将所述晶片载置面分割成多个而得到的每个区域,设置于各区域的所述电阻发热体中的一部分电阻发热体的所述端子设置为在所述凹部的侧面露出,剩余的电阻发热体的所述端子设置于所述陶瓷板的背面的所述轴内区域。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的陶瓷加热器,其中,所述电阻发热体包括设置在所述晶片载置面的内周侧区域的内周侧电阻发热体、以及设置在所述晶片载置面的外周侧区域的外周侧电阻发热体,所述外周侧电阻发热体的所述端子设置为在所述凹部的侧面露出,所述内周侧电阻发热体的所述端子设置为在所述陶瓷板的背面的所述轴内区域露出。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的陶瓷加热器,其中,所述凹部的侧面位于能够从所述筒状轴的端部目视确认的位置。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的陶瓷加热器,其具备与所述端子连接且配置于所述筒状轴的内部空间的供电部件。

7.根据权利要求6所述的陶瓷加热器,其中,

与在所述侧面露出的所述端子连接的所述供电部件呈沿着所述筒状轴的内壁的形状。

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