[发明专利]用于透射式空间光调制器相位和偏振调制特性的检测方法

权利要求书

1.用于透射式空间光调制器相位和偏振调制特性的检测方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤S10，搭建光路系统，通过所述光路系统输出结构光和参考光，改变所述光路系统的第二偏振片的角度以使所述结构光和所述参考光干涉形成干涉条纹；

步骤S20，采集所述干涉条纹图像；

步骤S30，重复步骤S10和步骤S20，直至得到清晰的干涉条纹图像，根据第二偏振片的角度判断结构光的偏振状态，并确定空间光调制器对入射光的偏振调制特性；

步骤S40，通过图像处理相关的轮廓处理以及中心线提取方法得到干涉条纹曲线；

步骤S50，在获得清晰的干涉条纹图像基础上，改变空间光调制器的灰度值，获取新的干涉条纹曲线，采用相位模型转换的方法计算出灰度相位曲线，所述相位模型转换满足以下关系式：

其中，∧为条纹周期，为相位调制量；δ为条纹平移量；

所述光路系统包括激光扩束单元、第一偏振片、四分之一波分片、第一分光棱镜、起偏器、空间光调制器、第一反射镜、第二反射镜、第二偏振片、衰减片和第二分光棱镜；经所述激光扩束单元扩束后的光束经所述第一偏振片，第一偏振片输出偏振度更高的线偏光，所述线偏光入射到所述四分之一波分片，所述四分之一波分片输出圆偏光，所述圆偏光照射到所述第一分光棱镜上，被分为两束传播方向互相垂直的第一圆偏光束和第二圆偏光束；所述第一圆偏光束经过所述起偏器照射到所述空间光调制器，经过所述空间光调制器调制后的第一圆偏光束由第一反射镜射入所述第二分光棱镜，作为结构光；所述第二圆偏光束由第二反射镜射入所述第二偏振片，并经所述衰减片衰减后射入所述第二分光棱镜，作为参考光；所述结构光和所述参考光于所述第二分光棱镜处汇合发生干涉形成干涉条纹。

2.如权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述步骤S10中，通过改变所述第二偏振片的角度调整参考光之外，还通过加配衰减片对参考光进行调整。

3.如权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述步骤S20中，通过电荷耦合元件采集所述干涉条纹图像。