[发明专利]一种单晶硅棒切片用线切割机在审
| 申请号: | 202110078822.1 | 申请日: | 2021-01-21 |
| 公开(公告)号: | CN112793024A | 公开(公告)日: | 2021-05-14 |
| 发明(设计)人: | 董文文 | 申请(专利权)人: | 董文文 |
| 主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/00 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 518104 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 单晶硅 切片 切割机 | ||
1.一种单晶硅棒切片用线切割机,其特征在于:其结构包括操作盘(1)、闭合门(2)、排气盖(3)、机箱(4)、基底(5),所述操作盘(1)通过基底(5)与机箱(4)之间采用电性连接的方式相配合,所述机箱(4)上安装有闭合门(2)和排气盖(3),所述机箱(4)包括安装盘(41)、承接座(42)、连接块(43)、载物台(44)、固定体(45),所述安装盘(41)连接在连接块(43)和基底(5)之间,且中部连接有载物台(44),所述连接块(43)上连接有承接座(42),所述承接座(42)上安装有固定体(45)。
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒切片用线切割机,其特征在于:所述固定体(45)包括锁盒(451)、托盘(452)、助力组件(453)、导轮(454)、扣点架(455),所述锁盒(451)连接在助力组件(453)上,所述助力组件(453)安装在托盘(452)上,所述托盘(452)上设有扣点架(455),所述扣点架(455)连接在导轮(454)上。
3.根据权利要求2所述的一种单晶硅棒切片用线切割机,其特征在于:所述助力组件(453)包括导带(531)、推送件(532)、压圈(533)、缩合框(534)、导向结构(535),所述导带(531)通过导轮(454)穿插在压圈(533)和导向结构(535)内部,所述导向结构(535)安装在缩合框(534)上,所述缩合框(534)上设置有推送件(532)。
4.根据权利要求3所述的一种单晶硅棒切片用线切割机,其特征在于:所述推送件(532)与导向结构(535)间接配合与导带(531)上。
5.根据权利要求3所述的一种单晶硅棒切片用线切割机,其特征在于:所述推送件(532)包括延边角(321)、夹扣(322)、制衡垫(323)、展片(324),所述延边角(321)连接在展片(324)内部,且之间连接有制衡垫(323),所述展片(324)通过制衡垫(323)连接在缩合框(534)上,且过渡配合有夹扣(322)。
6.根据权利要求3所述的一种单晶硅棒切片用线切割机,其特征在于:所述导向结构(535)包括扩编装置(351)、通腔(352)、翼叶(353)、堆成排(354),所述通腔(352)上安装有扩编装置(351)和堆成排(354),且通腔(352)两侧均设有翼叶(353),所述翼叶(353)与导带(531)过渡配合,所述堆成排(354)活动卡合在锁盒(451)内部。
7.根据权利要求6所述的一种单晶硅棒切片用线切割机,其特征在于:所述扩编装置(351)包括支撑结构(1a1)、转轴托(1a2)、折杆(1a3)、压合囊(1a4),所述支撑结构(1a1)安装在压合囊(1a4)上,所述压合囊(1a4)上连接有折杆(1a3),且与翼叶(353)间接配合,所述折杆(1a3)通过压合囊(1a4)与转轴托(1a2)活动卡合。
8.根据权利要求7所述的一种单晶硅棒切片用线切割机,其特征在于:所述支撑结构(1a1)包括中间件(a11)、限位框(a12)、活动叉(a13)、弹簧(a14),所述中间件(a11)与导带(531)过渡配合,并连接在折杆(1a3)上,所述活动叉(a13)连接在中间件(a11)上,且其滑动配合在限位框(a12)内,所述弹簧(a14)连接在活动叉(a13)上,所述限位框(a12)连接在压合囊(1a4)内部。
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