[发明专利]一种石英扩散炉的点火室

说明书

本申请涉及一种石英扩散炉的点火室，属于扩散炉的技术领域，包括点火室本体，所述点火室本体上穿设有测温偶，所述点火室本体上还设置有用于对所述测温偶进行遮蔽的防护装置，所述防护装置包括，防护罩，所述防护罩固定连接于所述点火室本体且所述测温偶位于所述防护罩内；防护叶片，所述防护叶片有多个且均转动连接于所述防护罩，多个所述防护叶片周向设置且形成对所述防护罩的遮蔽。本申请具有对测温偶的突出部分进行遮蔽以提高安全性的效果。

技术领域

本申请涉及扩散炉的领域，尤其是涉及一种石英扩散炉的点火室。

背景技术

扩散现象（diffusion）是指物质分子从高浓度区域向低浓度区域转移直到均匀分布的现象，速率与物质的浓度梯度成正比。扩散是由于分子热运动而产生的质量迁移现象，主要是由于密度差引起的。扩散技术是一种基本而重要的半导体技术。

扩散技术主要用于形成双极器件中的基发射区和集电区、MOS器件中的源区与漏区、多晶硅掺杂等。扩散技术又被称为掺杂，意即将一种物质掺入另一种物质，从而形成p-n结。

如在大规模生产的晶体硅太阳能电池制造工艺中，主要采用扩散法制作电池片的p-n结，利用p-n结的光生伏特效应产生电动势，再通过后道丝网印刷和烧结工艺引入正负电极栅线（通常是银浆或铝浆），将电动势引出来。

扩散技术常用的设备有离子注入设备和扩散炉。由于离子注入设备购入和维护成本高昂，并且适用于更小特征图形尺寸与更近电路器件间距的场合，应用范围较小。大部分行业，如能接受中低成本和热扩散限制的电子、集成电路、晶体硅太阳电池制造行业等主要使用扩散炉进行扩散掺杂。扩散炉是这些细分行业掺杂工艺的核心设备，用以改变和控制晶圆内杂质的类型、浓度和分布，以便建立起不同的电特性区域。扩散炉主要由点火室、加热炉体、石英管、气路系统、取送料装置等组成。

为了检测点火室内的点火情况，往往需要在点火室上穿设一个测温偶，并通过测温偶返回的数据控制点火室的运行和工作。

针对上述中的相关技术，发明人认为，测温偶的一端伸入点火室内进行温度的检测，测温偶的另一端伸到点火室外进行检测数据的传递，而点火室外的测温偶裸露在外，安全性较低。

发明内容

为了改善常见的扩散炉点火室上的测温偶裸露在外安全性较低的问题，本申请提供一种石英扩散炉的点火室。

本申请提供的一种石英扩散炉的点火室采用如下的技术方案：

一种石英扩散炉的点火室，包括点火室本体，所述点火室本体上穿设有测温偶，所述点火室本体上还设置有用于对所述测温偶进行遮蔽的防护装置，所述防护装置包括，

防护罩，所述防护罩固定连接于所述点火室本体且所述测温偶位于所述防护罩内，所述防护罩开设有便于检修的开口；

防护叶片，所述防护叶片有多个且均转动连接于所述防护罩，多个所述防护叶片周向设置且形成对所述防护罩的遮蔽。

通过采用上述技术方案，在点火室本体上设置防护罩后，测温偶突出点火室本体外的部分位于防护罩内，防护罩能够降低误触、误操作测温偶的可能性。在防护罩上开设开口以便于对测温偶进行检修或更换，而防护叶片能够对具有开口的防护罩进行遮蔽，以对防护罩内的测温偶进行遮蔽，以对测温偶的突出部分进行遮蔽防护，提高安全性。

可选的，所述防护罩上还设置有多个用于驱动所述防护叶片发生转动的拉动件，所述拉动件包括，

安装座，所述安装座有多个且均固定连接于所述防护罩，多个所述安装座周向排列，所述防护叶片转动连接于所述安装座；

拉杆，所述拉杆转动连接于所述防护叶片。

通过采用上述技术方案，在需要对测温偶进行检修或更换时，通过拉杆拉动防护叶片转动即可实现防护叶片的开合。