[发明专利]搬运机械手及叠压装置有效

专利信息
申请号: 202110046749.X 申请日: 2021-01-20
公开(公告)号: CN112873227B 公开(公告)日: 2022-11-15
发明(设计)人: 刘洋;杨志;李国林 申请(专利权)人: 北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
主分类号: B25J11/00 分类号: B25J11/00;B25J15/06;H01G4/12;H01G4/30;H01G13/00
代理公司: 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 代理人: 张鹏
地址: 100176 北京*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 搬运 机械手 装置
【权利要求书】:

1.一种搬运机械手,其特征在于,包括:上压板、中间板、弹性件、滚珠花键轴、吸附台和驱动机构,所述滚珠花键轴的一端安装于所述上压板,另一端穿过所述中间板后与所述吸附台连接,所述滚珠花键轴能够相对所述中间板沿所述滚珠花键轴的轴向移动,所述弹性件设置于所述上压板与所述中间板之间,所述弹性件用于使得所述上压板与所述中间板具有相对运动的趋势,所述驱动机构连接于所述上压板与所述中间板之间,所述驱动机构用于调节所述上压板与所述中间板之间的距离;

所述驱动机构包括下拉气缸和抬升气缸;两个所述下拉气缸相对于所述弹性件对称设置,两个所述抬升气缸相对于所述弹性件对称设置,两个所述下拉气缸和两个所述抬升气缸分别位于所述弹性件的外围的四个方向;

所述抬升气缸的缸体与所述中间板连接,抬升顶柱与所述上压板连接;所述下拉气缸的缸体与所述中间板连接,缸杆通过浮动接头与所述上压板连接;

还包括X向驱动组件,所述X向驱动组件包括X向驱动器和X向板,所述X向驱动器用于驱动所述X向板移动,所述X向板与中间板传动连接;

还包括Y向驱动组件,其包括:Y向导轨、Y向板和Y向驱动器,所述Y向导轨与所述X向板连接,所述Y向板滑动装配于所述Y向导轨,所述Y向驱动器用于驱动所述Y向板沿所述Y向导轨移动,所述Y向板与所述中间板连接。

2.根据权利要求1所述的搬运机械手,其特征在于,还包括花键衬套,所述滚珠花键轴通过所述花键衬套与所述中间板滑动连接。

3.根据权利要求1所述的搬运机械手,其特征在于,弹性件为弹簧,所述弹簧的一端通过弹簧上座固定于所述上压板,另一端通过弹簧下座固定于所述中间板。

4.根据权利要求1所述的搬运机械手,其特征在于,所述上压板设置有导柱,所述导柱通过直线轴承与所述中间板连接。

5.根据权利要求1所述的搬运机械手,其特征在于,还包括转动驱动组件,所述转动驱动组件用于驱动所述滚珠花键轴转动。

6.根据权利要求1所述的搬运机械手,其特征在于,还包括定位板、隔热板和加热板,所述滚珠花键轴连接于所述定位板的顶部,所述定位板的底部连接有所述隔热板,所述隔热板的底部连接有所述加热板,所述加热板的底部连接有所述吸附台。

7.一种叠压装置,其特征在于,其包括下叠压工作台和如权利要求1-6任一所述的搬运机械手,所述搬运机械手的吸附台能够与所述下叠压工作台抵接以进行叠压操作。

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