[发明专利]用于金属复合材料表面镀层的磁控喷射装置及工作方法

权利要求书

1.用于金属复合材料表面镀层的磁控喷射装置，其特征在于：包括镀膜室、设置在所述镀膜室上并用于与真空泵和管道进行密封连通的真空法兰管、安装在所述镀膜室内部的转动轴、以及安装在所述转动轴上的多个用于放置待镀膜件的转盘、设置在所述镀膜室内并对称安装在所述转动轴两侧的第一磁控溅射对靶和第二磁控溅射对靶；

在所述镀膜室上设置有对所述第一磁控溅射对靶和第二磁控溅射对靶进行冷却降温的冷却系统。

2.根据权利要求所述的用于金属复合材料表面镀层的磁控喷射装置，其特征在于：所述镀膜室为密封圆筒结构，在其侧壁上开设有密封门。

3.根据权利要求所述的用于金属复合材料表面镀层的磁控喷射装置，其特征在于：在所述镀膜室的侧壁上设置有观察窗，在所述镀膜室的顶部设置有旋转工作架，在所述旋转工作架上设置有用于驱动所述转动轴转动的减速驱动电机。

4.根据权利要求所述的用于金属复合材料表面镀层的磁控喷射装置，其特征在于：所述冷却系统包括分别用于安装所述第一磁控溅射对靶和第二磁控溅射对靶的防护隔板、以及安装在所述防护隔板背面的冷却管。

5.根据权利要求所述的用于金属复合材料表面镀层的磁控喷射装置，其特征在于：所述冷却管折叠盘绕在所述防护隔板上，在所述冷却管最底部为冷却进口，最顶部为冷却出口；在所述冷却管内通过冷气或冷却液。

6.根据权利要求所述的用于金属复合材料表面镀层的磁控喷射装置，其特征在于：所述第一磁控溅射对靶和所述第二磁控溅射对靶均是金属靶，并由一个中频电源或两个相对独立的直流脉冲电源供电；在所述镀膜室内并位于所述第一磁控溅射对靶和所述第二磁控溅射对靶的两侧设置有镀层磁控溅射靶。

7.一种磁控喷射装置的工作方法，其特征在于：

首先，通过打开镀膜室上的密封门，将待镀膜件放置在所述转盘上，接着关闭密封门，同时利用减速驱动电机带动安装在镀膜室内的转动轴转动；

开启第一磁控溅射对靶和第二磁控溅射对靶，然后对转盘上的待镀膜件进行磁控溅射镀层；

其中在第一磁控溅射对靶和第二磁控溅射对靶工作时，会在防护隔板上产生大量的热量，通过在防护隔板的背面安装冷却管，对防护隔板进行降温。