[发明专利]一种金属有机化学气相沉淀设备

权利要求书

1.一种金属有机化学气相沉淀设备，包括反应壳(1)，所述反应壳(1)采用封闭的壳体，其特征在于，所述反应壳(1)的底端外侧固定连接有多个支撑脚(2)，所述反应壳(1)的顶端固定且连通有气管(3)，所述反应壳(1)的内壁上固定连接有支撑杆(4)，且支撑杆(4)水平设置，所述支撑杆(4)远离反应壳(1)的一端固定连接有用于气相沉淀的反应托盘(5)，所述反应托盘(5)采用中空的矩形结构，所述反应托盘(5)的顶端开设有开口，所述反应托盘(5)远离支撑杆(4)的一端开设有开口，所述反应壳(1)的顶端外侧固定连接有第一减速电机(12)，所述第一减速电机(12)具备一个输出轴，所述反应壳(1)的顶端竖直转动连接有管体(16)，所述管体(16)的顶端延伸至反应壳(1)的外侧并通过锥齿轮组(15)与第一减速电机(12)的输出轴连接，所述管体(16)的底端固定且连通有喷淋管(13)，所述喷淋管(13)的底端设置有多个喷头(14)；

所述反应壳(1)的顶端外侧设置有升降机构(11)，所述升降机构(11)具备一个输出端，所述升降机构(11)的输出端延伸至反应壳(1)内并通过锁紧机构(9)连接有连接架(10)，所述连接架(10)的上表面胶合有毛刷(17)；

所述升降机构(11)的输出端延伸至反应壳(1)内还固定连接有固定板(8)，所述固定板(8)上固定连接有水平设置的气缸(7)，所述气缸(7)具备一个输出杆，所述气缸(7)的输出杆固定连接有刮刀(6)，所述刮刀(6)竖直设置。

2.根据权利要求1所述的一种金属有机化学气相沉淀设备，其特征在于，所述升降机构(11)由第二减速电机(111)、蜗杆(112)、蜗轮(113)、轴承座(114)、螺杆(116)和螺母(117)构成，所述第二减速电机(111)安装在反应壳(1)上，所述第二减速电机(111)具备一个输出端，所述第二减速电机(111)的输出端设置有蜗杆(112)，所述蜗杆(112)啮合有蜗轮(113)，所述蜗轮(113)与螺母(117)过盈配合，所述螺母(117)通过轴承(118)转动连接在反应壳(1)上，所述螺母(117)与螺杆(116)螺纹连接。

3.根据权利要求2所述的一种金属有机化学气相沉淀设备，其特征在于，所述螺杆(116)的顶端端口处固定连接有挡块(115)，所述挡块(115)的直径大于螺母(117)的直径，所述蜗杆(112)远离第二减速电机(111)的一端设置有轴承座(114)，所述轴承座(114)安装在反应壳(1)上。

4.根据权利要求2所述的一种金属有机化学气相沉淀设备，其特征在于，所述锁紧机构(9)由抵块(91)、弹簧(94)和T型拉杆(95)构成，所述连接架(10)上开设有开槽(96)，所述开槽(96)的内壁上开设有凹槽(92)，所述凹槽(92)上固定连接有弹簧(94)，所述弹簧(94)远离凹槽(92)的一端与抵块(91)固定连接，所述抵块(91)固定连接有T型拉杆(95)，所述T型拉杆(95)延伸至凹槽(92)的外侧，所述螺杆(116)上与抵块(91)对应的位置开设有抵槽(93)。

5.根据权利要求4所述的一种金属有机化学气相沉淀设备，其特征在于，所述抵块(91)采用矩形结构，所述抵槽(93)采用矩形结构。