[发明专利]无源自供能用压电纳米线的制备方法及压电纳米线有效
| 申请号： | 202110004843.9 | 申请日： | 2021-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN112786777B | 公开（公告）日： | 2023-05-09 |
| 发明（设计）人： | 秘立鹏;孙睿;刁凤新;史昌明;佟敏;党乐;王磊磊;陈忠源 | 申请（专利权）人： | 国网内蒙古东部电力有限公司电力科学研究院;国网河南省电力公司电力科学研究院;国家电网有限公司 |
| 主分类号： | H10N30/30 | 分类号： | H10N30/30;H10N30/85;H10N30/87;H10N30/06;H10N30/08;B82Y30/00 |
| 代理公司： | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人： | 张庆骞 |
| 地址： | 010020 内蒙古自治区呼*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 无源 自供 能用 压电 纳米 制备 方法 | ||
1.一种无源自供能用压电纳米线的制备方法，其特征在于，包括：
在基片上溅射ZnO纳米线生长的种子层；
将ZnO纳米线生长溶液与种子层反应，在种子层上生长ZnO纳米线；
反应结束后，清洗种子层及ZnO纳米线；
采用等离子溅射工艺在ZnO纳米线的上层制备出压电层电极，最终得到无源自供能用压电纳米线；
所述基片为硅片；
所述压电层电极的制备材料为无铅压电材料；
无铅压电材料的制备过程为：
将各种原料混匀磨细，在设定温度下固相反应，合成压电陶瓷；
将预烧过的压电陶瓷粉末再细振混匀磨细；
加入粘合剂使粉料形成预设密度的颗粒；
将制好粒的料压结成所要求的预制尺寸的毛坯；
将制粒时加入的粘接剂从毛坯中除掉；
将毛坯在设定温度下密封烧结成瓷；
将烧好的制品磨加工到所需要的成品尺寸；
在设定的陶瓷表面设置上导电电极；
定向排列陶瓷内部电畴，从而使陶瓷具有压电性能。
2.如权利要求1所述的无源自供能用压电纳米线的制备方法，其特征在于，在基片上溅射ZnO纳米线生长的种子层之前，还包括：清洗基片。
3.如权利要求1所述的无源自供能用压电纳米线的制备方法，其特征在于，所述生长溶液由含有预设浓度的硝酸锌和六次亚甲基四胺液体构成。
4.一种无源自供能用压电纳米线，其特征在于，包括基片、种子层、ZnO纳米线和压电层电极；
所述种子层溅射在基片上；
所述ZnO纳米线生长在种子层上，且通过ZnO纳米线生长溶液与种子层反应得到；
所述压电层电极采用等离子溅射工艺制备出，且设置在ZnO纳米线的上层；
所述基片为硅片；
所述压电层电极的制备材料为无铅压电材料，其制备过程为：
将各种原料混匀磨细，在设定温度下固相反应，合成压电陶瓷；
将预烧过的压电陶瓷粉末再细振混匀磨细；
加入粘合剂使粉料形成预设密度的颗粒；
将制好粒的料压结成所要求的预制尺寸的毛坯；
将制粒时加入的粘接剂从毛坯中除掉；
将毛坯在设定温度下密封烧结成瓷；
将烧好的制品磨加工到所需要的成品尺寸；
在设定的陶瓷表面设置上导电电极；
定向排列陶瓷内部电畴，从而使陶瓷具有压电性能。
5.如权利要求4所述的无源自供能用压电纳米线，其特征在于，所述基片为硅片。
6.如权利要求4所述的无源自供能用压电纳米线，其特征在于，所述生长溶液由含有预设浓度的硝酸锌和六次亚甲基四胺液体构成。
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