[发明专利]ASC工序自动化装置

说明书

本发明提供一种ASC工序自动化设备，包括：装载部分，已经历线锯的锭块被输入到该装载部分中；煤油清洁部分，该煤油清洁部分用于用煤油清洁锭块；预清洁部分，该预清洁部分用于对锭块进行预清洁；主清洁部分，该主清洁部分用于对锭块进行多次清洁；晶片剥离部分，该晶片剥离部分用于剥离晶锭以产生多个晶片；以及输送单元，该输送单元用于使晶锭在前进至煤油清洁部分、预清洁部分、主清洁部分和晶片剥离部分的同时线性地且向上/向下地运动。

技术领域

本发明涉及一种晶片制造设备，并且更具体地涉及一种用于执行ASC工序的自动化ASC工序设备。

背景技术

单晶硅锭通常通过柴可拉斯基(Czochralski)方法生长和制造。该方法是如下的方法，其中，在腔室中的坩埚中熔化多晶硅，将作为单晶的晶种浸入硅熔体中，以及缓慢拉起晶种以生长出具有期望直径的单晶硅锭块(以下简称“锭块”)。

单晶硅晶片的制造工序大致包括：单晶体生长工序，该单晶体生长工序用于产生锭块；切片工序，该切片工序用于对锭块进行切片来获得薄盘状的晶片；边缘磨削工序，该边缘磨削工序用于对由切片工序获得的晶片的边缘进行机加工，以防止晶片发生开裂和翘曲；精磨工序，该精磨工序用于去除由于机械加工而对晶片造成的损坏，以改善晶片的平整度；抛光工序，该抛光工序用于对晶片进行镜面抛光；以及清洁工序，该清洁工序用于去除附着于抛光晶片的磨料或异物。

同时，使用线锯设备执行将锭块切割成晶片的切片工序。

图1是表示一般线锯设备的操作的图。

如图1所示，线锯设备1000包括：用于固定锭块IG上部的梁B；锭块夹具1100，该锭块夹具用于夹持梁B，使得锭块IG被支承以可向上和向下运动；多个辊1200和1300，这些辊设置在锭块夹具100下方以可旋转；线材W，该线材绕该多个辊1200和1300缠绕以可沿正方向和反方向旋转；以及用于朝向线材W喷射浆料的浆料喷射喷嘴(未示出)。

在线锯设备1000中，浆料被喷射到高速运动的线材W上，并且锭块IG朝向线材W下降。在这种情况下，锭块IG通过与附着于线材W的浆料的摩擦而被切割成多个晶片。

线锯工序完成后，进一步执行作为上述边缘研磨工艺之前的步骤的切片清洁(assliced cleaning，ASC)工序，该工序包括从晶片去除异物，诸如浆料、油污或切屑以及去除固定于晶片上部的梁B以分离晶片的一系列工序。

ASC工序由组合了各种装置的ASC工序设备执行。ASC工序设备依次执行ASC工序所需的程序，诸如使用煤油(WN-420)的清洁、装载、超清洁、一次漂洗、二次漂洗、三次漂洗、晶片分离和卸载。

然而，ASC工序的许多工序和工序之间的许多连接部分(进程部分)是手动执行的，而不是以自动方式执行的。这种体力劳动导致ASC工序的质量下降(在晶片表面上产生污点、不均匀清洁、晶片损坏等)，这取决于工人的熟练程度，并且更加耗时和昂贵。

发明内容

技术问题

因此，本发明提供了一种ASC工序自动化设备，该设备能够将ASC工序的各个程序以及在这些程序之间连接部分(进程部分)自动化，从而提高ASC工序的质量，并且节省时间和费用。

技术方案

本发明提供了一种ASC工序自动化设备，包括：装载单元，该装载单元构造成允许将经过线锯的锭块装载于其上；煤油清洁单元，该煤油清洁单元构造成使用煤油来清洁锭块；预清洁单元，其构造成对锭块进行预清洁；主清洁单元，该主清洁单元构造成多次清洁锭块；晶片分离单元，该晶片分离单元构造成将锭块分割成多个晶片；以及输送单元，该输送单元构造成线性地输送并在锭块经过煤油清洁单元、预清洁单元、主清洁单元和晶片分离单元时使锭块向上和向下运动。

该设备还可包括沿着煤油清洁单元、预清洁单元、主清洁单元和晶片分离单元安装的轨道单元，并且输送单元可以安装至轨道单元。