[发明专利]电性测试座在审
| 申请号： | 202080096297.X | 申请日： | 2020-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN115087875A | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 郑永倍 | 申请（专利权）人： | 株式会社ISC |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R1/067;G01R1/04;G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 张立垚;黄健 |
| 地址： | 韩国京畿道城南*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 测试 | ||
1.一种电性测试座，用于使待测试元件的端子与测试元件的衬垫彼此电连接，所述电性测试座包括：
中间片，包括：多个第一导电部分，在对应于待测试元件的端子的每一位置处在厚度方向上延伸，且其中多个第一导电粒子配置于第一弹性物质中；及第一绝缘支撑部分，设置于所述多个第一导电部分之间，支撑所述多个第一导电部分中的每一者且包括所述第一弹性物质；
上部片，安置于所述中间片上方，且包括：多个第二导电部分，在对应于所述多个第一导电部分的位置处在厚度方向上延伸，且其中多个第二导电粒子配置于第二弹性物质中；及第二绝缘支撑部分，设置于所述多个第二导电部分之间，支撑所述多个第二导电部分且包括所述第二弹性物质；以及
下部片，安置于所述中间片下方，且包括：多个第三导电部分，在对应于所述多个第一导电部分的位置处在厚度方向上延伸，且其中多个第三导电粒子配置于第三弹性物质中；及第三绝缘支撑部分，设置于所述多个第三导电部分之间，支撑所述多个第三导电部分且包括所述第三弹性物质，
其中所述第一弹性物质包括在高温下膨胀率小于所述第二弹性物质及所述第三弹性物质的材料。
2.根据权利要求1所述的电性测试座，其中所述第二弹性物质及所述第三弹性物质各自包括在低温下收缩率小于所述第一弹性物质的材料。
3.根据权利要求1所述电性测试座，其中所述高温为约150℃或高于150℃。
4.根据权利要求1所述的电性测试座，其中所述第一弹性物质包括耐热聚硅氧橡胶或含有耐热材料的聚硅氧橡胶。
5.根据权利要求4所述的电性测试座，其中所述耐热材料包括氧化铁、氮化硼以及氮化铝中的任一者。
6.根据权利要求2所述的电性测试座，其中所述低温为约-55℃或低于-55℃。
7.根据权利要求2所述的电性测试座，其中所述第二弹性物质及所述第三弹性物质各自包括低温用聚硅氧橡胶。
8.根据权利要求7所述的电性测试座，其中所述低温用聚硅氧橡胶包括氟硅橡胶。
9.根据权利要求1所述的电性测试座，其中覆盖所述中间片的表面的绝缘片在所述中间片的上部表面或下部表面中的至少一者处一体地附接至所述中间片。
10.根据权利要求9所述的电性测试座，其中在对应于所述多个第一导电部分中的每一者的每一位置处的所述绝缘片中形成连通孔。
11.根据权利要求9所述的电性测试座，其中所述绝缘片具有耐热效能。
12.一种电性测试座，用于使待测试元件的端子与测试元件的衬垫彼此电连接，所述电性测试座包括：
中间片，包括：多个第一导电部分，在对应于待测试元件的端子的每一位置处在厚度方向上延伸，且其中多个第一导电粒子配置于第一弹性物质中；及第一绝缘支撑部分，设置于所述多个第一导电部分之间，支撑所述多个第一导电部分中的每一者且包括所述第一弹性物质；
上部片，安置于所述中间片上方，且包括：多个第二导电部分，在对应于所述多个第一导电部分的位置处在厚度方向上延伸，且其中多个第二导电粒子配置于第二弹性物质中；及第二绝缘支撑部分，设置于所述多个第二导电部分之间，支撑所述多个第二导电部分且包括所述第二弹性物质；以及
下部片，安置于所述中间片下方，且包括：多个第三导电部分，在对应于所述多个第一导电部分的位置处在厚度方向上延伸，且其中多个第三导电粒子配置于第三弹性物质中；及第三绝缘支撑部分，设置于所述多个第三导电部分之间，支撑所述多个第三导电部分且包括所述第三弹性物质，
其中所述第二弹性物质及所述第三弹性物质各自包括在低温下收缩率小于所述第一弹性物质的材料。
13.根据权利要求12所述的电性测试座，其中所述低温为约-55℃或低于-55℃。
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