[发明专利]药液处理装置

权利要求书

1.一种药液处理装置，其特征在于，具备：

处理槽，通过将基板浸渍于药液来对所述基板进行抗蚀剂去除处理；

多个保持部，以纵置的方式保持所述基板；

上下驱动部，单独地上下驱动所述保持部；以及

装夹部，卡脱自如地装夹所述基板，

所述上下驱动部使所述保持部在将所述基板浸渍于所述药液的浸渍位置与将所述基板从所述药液提起的非浸渍位置之间单独地上下移动，由此由所述保持部保持的所述基板被以单片式进行抗蚀剂去除处理。

2.根据权利要求1所述的药液处理装置，其特征在于，

在所述处理槽的底部配设有超声波发生器。

3.根据权利要求1或2所述的药液处理装置，其特征在于，

在所述处理槽的上部配设有朝向所述基板向下方喷出所述药液的喷嘴。

4.根据权利要求3所述的药液处理装置，其特征在于，

所述处理槽经由形成于构成所述处理槽的连通侧壁的底部的连通口与邻接的贮存槽连通。

5.根据权利要求4所述的药液处理装置，其特征在于，

与所述贮存槽邻接地配设有排出槽，所述排出槽容纳从所述贮存槽溢流出的所述药液，在所述喷嘴与所述排出槽之间形成有使所述药液循环的循环路径。

6.根据权利要求5所述的药液处理装置，其特征在于，

在所述循环路径设有过滤系统，所述过滤系统使所述药液所含的淤渣的回收对象尺寸阶段性地缩小。

7.根据权利要求4至6中任一项所述的药液处理装置，其特征在于，

在所述贮存槽中，在与所述连通口相反侧的底部形成有滞留防止部。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的药液处理装置，其特征在于，

具备对所述上下驱动部和所述装夹部的各动作进行控制的控制部，

所述控制部单独地对每个所述基板控制抗蚀剂去除处理，该抗蚀剂去除处理具有以下步骤：将某所述基板载置于所述非浸渍位置的所述保持部；使载置有所述某基板的所述保持部向下移动至所述浸渍位置；将所述浸渍位置保持规定时间；使载置有所述某基板的所述保持部向上移动至所述非浸渍位置；将位于所述非浸渍位置的所述某基板装夹在所述装夹部来从所述保持部移除；以及将与所述某基板不同的另外的所述基板载置于位于所述非浸渍位置的所述保持部。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的药液处理装置，其特征在于，

所述上下驱动部以交错配置的方式设于所述处理槽。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的药液处理装置，其特征在于，

所述处理槽在俯视观察下呈扇形形状，所述上下驱动部沿着所述处理槽的外圆弧部设置。