[发明专利]用于流量限制器的密封件在审
| 申请号: | 202080057738.5 | 申请日: | 2020-08-05 |
| 公开(公告)号: | CN114556536A | 公开(公告)日: | 2022-05-27 |
| 发明(设计)人: | 马修·埃里克·科瓦契奇;扎卡赖亚·伊齐基尔·麦金太尔;肖恩·约瑟夫·彭利;克里斯托弗·布赖恩特·戴维斯 | 申请(专利权)人: | 艾科系统公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 北京京万通知识产权代理有限公司 11440 | 代理人: | 许天易 |
| 地址: | 美国得克萨斯州7872*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 用于 流量 限制器 密封件 | ||
1.一种用于气体流量限制器的密封件,该密封件包括:
第一端;
第二端,从所述第一端延伸到所述第二端的纵向轴线;以及
孔,该孔容纳所述流量限制器以在所述流量限制器和所述密封件之间形成流体密封连接。
2.根据权利要求1所述的密封件,其中,所述密封件被配置成插入到阀的孔口中。
3.根据权利要求1所述的密封件,其中,所述密封件是非金属的。
4.根据权利要求1所述的密封件,其中,所述密封件由聚四氟乙烯形成。
5.根据权利要求1所述的密封件,其中,所述密封件具有第一端和第二端,所述密封件沿着所述纵向轴线从所述第一端延伸到所述第二端。
6.根据权利要求1所述的密封件,其中,密封腹板沿着所述纵向轴线位于所述第一端和所述第二端之间。
7.根据权利要求6所述的密封件,其中,所述密封腹板包括流量孔,所述流量孔是矩形的。
8.根据权利要求1所述的密封件,其中,所述密封件包括第一密封环和第二密封环。
9.根据权利要求1所述的密封件,其中,所述密封件包括垫片。
10.一种阀组件,包括:
包括有通道的阀;
流量限制器,该流量限制器包括:
第一端;
第二端;
从所述第一端延伸至所述第二端的纵向轴线;
密封部分,其沿所述纵向轴线位于所述第一端与所述第二端之间;以及
密封件,其与所述流量限制器的密封部分和所述阀的通道接触。
11.根据权利要求10所述的阀组件,其中,所述密封件由聚四氟乙烯形成。
12.根据权利要求10所述的阀组件,其中,所述密封件是非金属的。
13.根据权利要求10所述的阀组件,其中,所述密封件是金属的。
14.根据权利要求10所述的阀组件,其中,所述密封件沿着所述纵向轴线从第一端延伸到第二端。
15.根据权利要求10所述的阀组件,其中,所述流量限制器还包括脊部,所述密封件与所述脊部接触。
16.根据权利要求10所述的阀组件,其中,所述流量限制器还包括未密封部分,所述未密封部分具有第一直径,所述密封部分具有第二直径。
17.根据权利要求16所述的阀组件,其中,所述第一直径大于所述第二直径。
18.根据权利要求16所述的阀组件,其中,所述密封件的外表面具有第三直径,所述第三直径大于所述第一直径和所述第二直径。
19.根据权利要求10所述的阀组件,其中,所述阀的通道具有内表面,所述密封件的外表面与所述阀的通道的内表面接触。
20.根据权利要求10所述的阀组件,其中,所述密封件包括位于所述密封件的第一端和所述密封件的第二端之间的密封腹板。
21.根据权利要求20所述的阀组件,其中,所述密封腹板包括流量孔,所述流量孔接收所述流量限制器。
22.根据权利要求10所述的阀组件,其中,所述密封件还包括密封腹板、第一密封环和第二密封环。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





