[发明专利]合成磨石有效
| 申请号： | 202080041842.5 | 申请日： | 2020-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN113950390B | 公开（公告）日： | 2023-03-31 |
| 发明（设计）人： | 京岛快 | 申请（专利权）人： | 株式会社东京钻石工具制作所 |
| 主分类号： | B24D3/28 | 分类号： | B24D3/28;B24D3/20;B24D3/34;B24B37/10;B24B7/22 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 沈雪 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 合成 磨石 | ||
1.一种合成磨石，其是通过干式对被磨削材料进行化学机械磨削的合成磨石，其具备：
对所述被磨削材料具有基于所述干式的化学机械磨削作用、且粒径小于5μm的研磨剂；
由与所述被磨削材料同质或软质的材料、或与所述被磨削材料的氧化物同质或软质的材料形成、且粒径大于所述研磨剂的球状填充剂；以及
将所述研磨剂和所述球状填充剂粘结成一体的树脂粘结剂，
所述研磨剂的体积比为0.2～50体积％，
所述球状填充剂的体积比为30～60体积％，
所述树脂粘结剂的体积比为3～25体积％。
2.根据权利要求1所述的合成磨石，其中，
所述研磨剂为与所述被磨削材料同质或软质的材料、或与所述被磨削材料的氧化物同质或软质的材料。
3.根据权利要求1所述的合成磨石，其中，
所述研磨剂为二氧化硅、氧化铈、氧化铬、氧化铁、氧化铝、碳化硅中的任一种或混合物。
4.根据权利要求1所述的合成磨石，其中，
所述球状填充剂为二氧化硅、碳、硅胶、活性炭中的任一种或混合物。
5.根据权利要求1所述的合成磨石，其中，
所述树脂粘结剂为热固性树脂、热塑性树脂中的任一种或混合物。
6.一种合成磨石，其是通过干式对以硅作为主成分的被磨削材料进行化学机械磨削的合成磨石，其具备：
气相法二氧化硅，其是对所述被磨削材料具有基于所述干式的化学机械磨削作用、且粒径小于5μm的研磨剂；
球状硅胶，其是由与所述被磨削材料同质或软质的材料、或与所述被磨削材料的氧化物同质或软质的材料形成、且粒径大于所述研磨剂的球状填充剂；以及
纤维素，其是将所述研磨剂和所述球状填充剂粘结成一体的树脂粘结剂。
7.根据权利要求6所述的合成磨石，其中，
所述研磨剂的体积比为0.2～50体积％，
所述球状填充剂的体积比为30～60体积％，
所述树脂粘结剂的体积比为3～25体积％。
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